电子束自动对准、自动调焦、自动消像散物理研究.pdfVIP

湖南·长沙 电子束自动对准、自动调焦、 自动消像散的物理研究 周开宇 (信息产业部电子第48研究所。长沙410111) ，；．-I 摘要：对电子束曝光机中的电子束自动聚焦、自动对中、自动消像散的物理模型进行了研究。 提出了实施自动调整的方法。 关键词：电子束雄光机；柬斑；聚焦；对中；像散 1 引言 电子柬曝光机的电子波长可通过增加能量而缩短，焦深较深，易于控制，是微电子工业的 关键设备之一。为了提高电子束曝光机的稳定性、可靠性和易于操作性，电子柬的自动对准、 自动调焦、自动消像散就特别重要。目前，国际上先进的电子柬曝光机，例如：日本的JBX一 距，提高国产设备的自动控制水平，本文针对电子束曝光机的电子束检测、自动对准、自动调 焦、自动消像散进行了物理研究。 2电子柬曝光机电子光学系统概述 在电子柬曝光机中，电子束必须聚焦成尺寸为0．01～0．5／an的柬斑。另外，为了缩短对 电子胶的曝光时间，电子柬束斑的电流密度应具有10～100A／cm2的数量级。电子密度大，柬 斑在电子胶上驻留的时间可以缩短。经过精细聚焦的电子柬，由电子偏转系统引导，在图形发 生器的信号控制下，快速而准确的在基片的电子胶上扫描曝光，显影后得到高分辨率的舍乎要 求的胶图形。 电子束构件可概括为四个部分。 (1)电子源：目前主要为L^B。(或钨筵)阴极组成的三极电子枪，或者为场致发射阴极。 (2)聚光镜和物镜为磁透镜，主要对电子柬进行缩小。(3)偏转系统：有磁偏转和静电偏转两种 系统。主要是引导电子束在～定范围内进行有效扫描。(4)其它部分：包括对中线圈，使电子 柬合轴；八极式消像散器；动态聚焦线圈；以及光闸等。 电子束曝光机电子光学系统结构简图见图l。 —-——108—— 第十届全国电子束离子柬光子束学术年会 V 电子源 盼…中 一 革 ．△△j…… 函；因 聚光镜 因 聚光镜 —△p 铲对中线圈 圜 因 消像敬器 因 物镜 因 囟函 动态聚焦线圈 工作面 图i 电子束曝光机电子光学系统简图 囟i因 秉焦致翻 j4■—八．i f]nf1 一『]f]『1 图2自动聚焦示意囝 3 电子束自动聚焦、自动对中、自动消像散的物理分析 塑塑!兰兰————…一——． 3．1自动聚焦 在电子柬曝光机中，电子束的聚焦，实际上是测量在工作面上的束径大小。当透镜电流上 下变化时测量标记上的束斑大小，当束径达到最小时。聚焦为最佳(测量标记选择八角形标 记)。 电子柬在八角形标上多次扫描采样，在带通放大器输出端出现的信号，其轨迹接近于电子 柬截面。这是聚焦质量的标志。将聚焦包迹转换成数字脉冲，最佳聚焦时，脉冲数达到最少。 3．2自动对中 对中的目的就是将从电子源发射出来的电子束在受控状态下，尽量多地引向工作面上。 而从电子源发射出来的电子柬不可避免的与镜筒中心轴有一定的偏移和倾斜。对中就是利用 线圈