俄歇电子能谱仪在失效分析中的应用.pdfVIP

维普资讯 机械工艺师 2001．8 俄歇电子能谱仪在失效分析中的应用 口盛国裕 杨其华 俞杭芳 摘要 介绍俄歇电子能谱仪的测试原理，举倒说明在麦效分析 中的应甩。 关键词：俄歇谱仪 失效分析 中围分类号：TN99 文献标识码：B 文章编号2001)0g—呻49—-03 nppymgtheaugereIec spectroscopyapparatustofailure珊姐 _lj C．uoyu Ymlg呻 Yu m触 Abstract Introducet11emeeamngprknciple 鲫窜盯elec咖 吕Pe曲 0py印 崛ln afyi theapparatustofailurearI丑】is film- umed Keywom s：nag~ eleetrm s~ etrnmopyal~m ams Padrem 凼 俄歇电子能谱仪是建立在电子技术、弱信号检测 纹”特征，因此俄歇 电子谱(简称AES)可用来鉴定元素 技术和超高真空技术基础上的一种研究表面的新型测 的种类。此外，俄歇信号强度与试样表面元素的浓度 试仪器 ，它是根据俄歇 电子的能量和数量确定材料 的 成正比，可根据测得 的俄歇谱峰强度确定试样表面的 元素种类和含量，它与扫描电镜相结合，制成扫描俄歇 元素含量。 微探针 ，可用于材料的二维表面成分分析。而表面成 分分析是失效分析的主要测试手段之一。 一 、 测试方法 1．仪器结构 俄歇谱仪的基本结构如图 1所示，它主要 由真空 系统、初级 电子探针系统(即电子源和电子枪)，电子能 量分析器，样品台，俄歇及光 电子信号测量系统及在线 计算机等构成。 2测试原理 当能量大于内层电子结合能的电子轰击试样原 图1 PHI550电子能谱仪茼图 子 ，使原子的一个内层 电子 电离 ，并在 内层出现空位 ， 3．样品制备 而其他电子中的一个 电子充填此空位 ，同时使另一 电 1)用作表面成分分析的样品．要求表面平整不受 子脱离原子发射出去，这样一个无辐射的过程称为俄 污染，可采用传统的金相试样制作方法(粗磨——细磨 歇效应，发射出去的电子称为俄歇电子。由于俄歇电 — — 抛光，一般不浸蚀)，但要避免表面成分 因摩擦发 子的能量取决于原子内有关壳层的结合能 ，具有 “指 热而发生变化 。 维普资讯 机械工艺师 2001．8 2)用作断裂失效分析的样品，要求在真空室内对 俄歇电子谱上可看到 P和sn谱线的峰值 比非脆性断 试样加载，折断后直接对元素进行定性分析。 口的峰值强得多，这说明P和 sn元素在脆性断口晶界 3)用作腐蚀失效分析的样品，先直接进行成分分 处严重偏折，而P…SBSn等杂质元素在晶界上偏折， 析，然后用惰性气体离子溅射表面后再进行成分分析。 将使金属材料变脆 ，造成合金结构钢脆断。 二、具体应用 1．表面成分分析 金属材料的许多性质如磨损、粘着、摩擦、润滑等， 不但与金属的表面形貌有关 ，也 同表面的组成和表面 现象(吸附、分凝、扩散等)有关。表面是凝聚态物质靠 近气体或真空的一十或几个原子层 (0．5—10rim)是凝 聚态对气体或真空的一种过渡，对大多数固体表面而 图3 40Cr钢断12表面俄戢电子微分谱图 言，其成分和结构都与体 内不同。由于俄歇 电子的非 3．腐蚀失效分析 弹性碰撞平均 自由