Al-Al2O3模板阴极法微细电解加工初探.pdfVIP

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设计·研究 《电加工与模具》2013年增刊1 缘层屏蔽一定的电场,限制腐蚀区域,实现定域加 本次试验的工件阳极接电源正极,单面绝缘的 工。电解液从绝缘夹具和铝阴极之间的空隙高速流 铝片接电源负极。工件阳极表面和铝阴极表面分别 过,带走电解产物及热量,确保加工的正常进行。试 是两个等势面,这两个等势面为ANSYS分析中的 验装置见图1。 边界条件。其中, 阳极: 挈Irl:u (2) 阴极: 票lFi:0(净3,4,8,9) (3) 其他边界条件应该封闭或近似封闭,即: 1.出液122.密封圈3.进液口4.绝缘夹具5.铬模板阴极 (4) 6.工件7.阴极接线柱8,进液口9.阳极接线柱 等fL=0(J_2’5’6’7,10) 图1 电解原理装置示意图 电场分析就是求拉普拉斯方程(1)在满足边界 工件表面加工区域内任一点P。,经加工时间t 条件(2)、(3)、(4)的解。经过处理后,即可得到该处 的电流密度。 和(t+At)分别蚀除到点P,和P…;同理,在加工区 域表面选取其他点,经(t+At)蚀除到新的点,把这 由电场理论得知,电流密度等于电场强度E和 些点和P…连起来,就形成了凹坑的轮廓曲线(图 电解液电导率k的乘积: 2a)。以电解加工过程中的某一时刻进行分析,为使 .f=rE (5) 数值顺利求解且不失准确性,将该时刻外接电源两 由电化学理论中阳极溶解的原理可知,阳极的 极的电场近似看作恒定电场,忽略电极界面上电化 溶解速度口等于电流效率刁与阳极体积电化学当 学反应所引起的过电位对加工间隙电场分布的影 量cc,及电流密度J的乘积: (6) 响,建立二维区域电场模型(图2b)。 口=w,J=r/wKE 取工件初始时刻阳极表面加工区域内任一点 P。,经加工时间t后,腐蚀到点P(35。,Y;),再经出 5 后,腐蚀到点P…(z,+。,Y川)。 3 2 ‘ 2Xi+舭4●,l 卜矿Xi+v=At ㈩ l 【Yi+i 2Yi+v/xt2Yf+rlourE,At 式中的E:和E。可从ANSYS中直接提取。所 1.工件2.陶瓷层3.铝模板阴极4.绝缘夹具5.电解液

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