微弧氧化工艺对钛及钛合金表面陶瓷膜性能影响的研究进展.pdfVIP

子喷涂法、离子注入法、酸蚀处理、溶胶凝胶法、碱热处理法、电泳沉积法和阳极氧化法等， 这些物理、化学和电化学方法都不能很好地解决上述问题，利用微弧氧化技术可以在其表面 原位生成均匀的多孔氧化物陶瓷膜，有效地改善了钛及钛合金的综合性能㈦1。 microarc oxidation)又称为等离子微弧氧化(PlasmaOXidation)、 微弧氧化(Microarc 微等离子体氧化(Microplasmaoxidation)，是一种在阳极氧化的基础上新近发展起来的电 化学表面改性技术。它通过将普通阳极氧化的工作区从法拉第区引入到高压放电区，克服了 ～些阳极氧化的缺陷。Al、Ti、Mg等金属及合金利用微弧氧化技术中化学氧化、电化学氧 化、等离子体氧化共同作用而生成的氧化膜使材料表面得到了“改性”，可以在显著增强材 料耐磨、耐腐蚀、耐冲击、耐高温的同时使其具有生物活性∞1。因此微弧氧化作为一种新兴 表面处理技术在航空航天、机械电子、生物医用等材料领域都具有广阔的应用前景，该技术 还不会对环境造成污染，具有绿色环保的特点“。。 微弧氧化有直流、交流和脉冲等几种电源模式，阳极为待处理试样，阴极一般选用不溶 性金属，多为不锈钢材料，氧化温度经水冷却保持在40。C以下【5。，工艺原理如图l所示。选 取适当的工艺参数接通电源后试样表面析出大量氧气微泡，生成一层绝缘钝化氧化膜；在强 电场的作用下钝化氧化膜被击穿形成等离子体，试样表面出现微小的火花点：随着电压升高， 火花点逐渐变大，密度逐渐增加，试样表面呈现均匀的微弧放电点并伴有很强的爆鸣声，微 弧点密度逐渐减少，强度逐渐增加；最后微弧点及爆鸣声逐渐稀疏直至消失。整个过程可分 为普通阳极氧化、微区弧光放电、微弧氧化和熄弧四个阶段。产生这种现象的原因是逐渐增 高的电压在基体表面形成大量高温高压的放电微区，在等离子轰击、扩散、电化学反应、熔 融、凝固、烧结相变等过程综合作用下，使原有的氧化膜发生晶态转变，电解液中的离子也 反应沉积在放电通道的内壁上，最终形成了与基体结合牢固的均匀氧化膜[““。 图1微弧氧化工艺原理图旧1 Schematic ofmicroarc oxidation Fig．1 representation setup 2微弧氧化膜的特点 2．1表面形貌观察 钛及钛合金试样经微弧氧化后，扫描电镜(SEM)可以观察到氧化膜表面分布有大小不等 的类蜂窝状微孔结构，形成等离子放电的通道，微孔周围突起的类似火山丘状结构为烧结熔 融作用的痕迹。不同的工艺电压形成的微孔孔径一般在10nll。3pm范围，使氧化膜具有一 1-t 定的表面粗糙度旧。。截面扫描电镜可以观察到氧化膜厚度1’300m，膜层与基体结合紧 密无明显界限，显示它是由基体表面原位生成的阳l。膜层内部较表层致密，表层疏松多孔且 有许多胞状孔穴缺陷，尤其是不同层次微孔间交通结构使其形貌极具特点。表面形貌说明具 有一定厚度和粗糙度且交通多孔结构的微弧氧化膜对于电解液向深层渗透、成骨细胞生长附 着及骨整合非常有利¨…。 2．2元素组成分析 能谱(EDX)分析氧化膜组成元素主要包括基体Ti与电解液中的0，Ca，P等，可见电解 液是影响膜层元素组成的决定冈素。膜层中元素的含量都是沿深度方向递变的，在由表及里 的方向上基体元素Ti的含量呈梯度减小趋势，而电解液元素Ca，P等含量趋势则相反变化， 这说明电解液中Ca，P离子是先扩散后沉积化合成膜的。Ca，P离子无论以何种形式存在于 氧化膜中，都会增加对生物活性的贡献。若适当调整电解液中Ca，P成分，可以得到钙磷比 (Ca／P)介于1．3’1．8的非晶磷酸钙和少量羟基磷灰石(HA)晶体，这为HA涂层制备提供了 很好的思路…’“1。 2．3晶相结构变化 x射线衍射仪(XRD)分析氧化膜发现基体元素Ti与氧反应及与电解液中其它离子反应生 成的氧化物组成了主相结构，其主要成分是二氧化钛(TiOz)，相含量也符合沿膜层深度方向 梯度变化的规律。氧化膜中的TiOz以锐钛矿相和金