超声键合换能系统的非稳态特性试验.pdfVIP

维普资讯 第27卷 第8期 焊 接 学 报 Vo1．27 No．8 2006年 8月 TRANSACTIONSOFTHECHINAWELDINGINSTITUTION August 2006 超声键合换能系统的非稳态特性试验 韩 雷， 许文虎， 李涵雄 (中南大学 机电工程学院， 长沙 410083) 摘 要：测得超声键合振动系统的输入电流、电压，用激光多普勒测速仪测得换能杆系 统的响应速度，研究了超声引线键合工艺中超声振动系统的非稳态动力学特性。据此 对超声加卸载过程分段，进行频谱分析和非稳态特性建模，并研究了相关的试验方法。 结果表明，振动系统拟共振态腹点的速度均方值可作为系统机械能的等效量，供系统动 力学特性试验研究；快速键合时系统惯性使功率源的开关不等同于键合机超声振动系 统的启停。这些均有助于键合机换能系统的工艺建模和优化。 关键词：超声键合 ；振动系统；激光多普勒测速仪 韩 雷 中图分类号：0426．9；TB552 文献标识码：A 文章编号：0253—36ox(~o6)os一019—05 0 序 言 激励。非接触式激光多普勒测速仪可测得振动系统 的响应。同时记录两者，可分析系统实际工作特性。 超声键合是重要的引线连接手段，占微电子制 1．1 测量原理 造互连工艺的90％ 以上。键合机超声振动系统由压 超声键合系统由超声波功率源、PZT换能器、换 电换能元件 (PZT)、换能杆、劈刀组成，PZT将超声 能杆、劈刀等组成，见图1。 频率的电激励转换成换能杆的机械振动，换能杆和 劈刀将振动传输并放大，作用于工作界面，将金线或 向 铝线键合在芯片和基板上，实现电气连接的功能。研 究超声振动系统的动态特性有重要意义。以往对超 声振动系统的研究，主要集中在换能杆形状分析、结 构设计、能量传输等方面L】J。比如，根据换能杆的 纵向波动方程，对指数形、悬链线形、圆锥形、阶梯形 图1 超声引线键合系统 换能杆，分析其稳态共振时的频率方程、位移放大系 Fig．1 Ultrasonicwirebondingsystem 数、输入力阻抗等。评价复合形换能杆的设计L2]，以 及对不同连接结构的换能杆超声能量传递效果进行 在PZT两端可测得驱动电压，驱动电流可通过 比较 J。研究快速键合过程，需了解处于非平稳状态 测量9Q串联电阻的两端电压获得。设换能杆稳态 的振动系统，而对实际加卸载过程试验研究尚未见 振动，平均动能与平均势能相等，振子动能又可用响 报道。文中通过记录系统的驱动及响应研究了粗铝 应速度的均方值来表示 ，故系统能量与特定测点的 线键合机振动系统在超声加卸载下的响应特性，并 速度均方值成正比。选取换能杆末端进行速度测量 讨论了相关试验技术和分析方法。这对于研究快速 出于以下考虑：位置易于测量；换能杆末端是稳态振 超声键合工艺的完整细节，进一步优化振动系统，提 型的波腹，速度最大；是与劈刀的连接点。 高超声键合能量传递效率十分重要。 1．2 测试仪器硬件连接 选用试验台为微讯公司U3000型粗铝线键合机 1 试验方法 超声换能系统，工作频率为 60kH