改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进.docVIP

改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进 刘刚1，秦榕1刘生章1王舒娅2 （1青海黄河上游水电开发有限责任公司 新能源分公司2.中国科学院 青海盐湖研究所） 摘要：改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进改进后的四塔精馏可以进一步降低三氯氢硅中硼、磷等杂质的含量，最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到99.999%。 关键词：多晶硅杂质精馏工艺中图分类号：T 文献标志码：A 文章编号：1007-7545（2013）0-0000-00 Improvement on Rectification Process of Polycrystalline Silicon by Improved Siemens Process LIU Gang1, QIN Rong1, LIU Sheng-zhang1, WANG Shu-ya2 （1. New Energy Branch, Qinghai Huanghe Hydropower Development Co. Ltd., Xining 810000, China； 2. Qinghai Institute of Salt Lake, Chinese Academy of Sciences, Xining 810000, China) Abstracts: Improved Siemens process was widely used by polycrystalline silicon manufacturers home and abroad. The trichlorosilane distillation process comprised of three rectification towers was improved. The results show that boron and phosphorus contents in trichlorosilane are further reduced by improved four rectification towers distillation process. The purity of final product of high-purity trichlorosilane can reach 99.999%. Key words: polycrystalline silicon; Siemens process; impurity; rectification; process; improvement 多晶硅材料是半导体集成电路和太阳能光伏电池的原材料，生产技术含量高、投资大[1]。改良西门子法是国内外生产多晶硅最为成熟、最容易扩建的工艺[2]，改良西门子法生产多晶硅的总量占全球多晶硅生产总量的85％[3]。改良西门子法也是我国的多晶硅生产大多采用的方法。三氯氢硅是改良西门子法多晶硅生产的中间产品，用氯气和氢气首先合成氯化氢，将氯化氢和硅粉在适当的压力温度下合成三氯氢硅，经分离和精馏提纯。提纯得到的三氯氢硅产品用于制备高纯多晶硅[4]。 1 工艺改进 .1 改良西门子法工艺简介 改良西门子法主要装置有氯化、精馏、氢还原等装置，氯化装置主要是使用硅粉、氢气、四氯化硅生产粗三氯氢硅，粗三氯氢硅成分为三氯氢硅、二氯氢硅、四氯化硅、氯化磷、氯化硼、金属化合物等在氯化装置内使用蒸馏塔初步将三氯氢硅、二氯氢硅和四氯化硅、金属化合物分离开三氯氢硅内含有少量的四氯化硅、二氯氢硅，微量的氯化硼、氯化磷和金属化合物等三氯氢硅送至精馏装置进行提纯，提纯后的三氯氢硅送至氢还原装置生产多晶硅还原尾气内含有三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氢气、二氯氢硅和高沸物，经过冷凝、吸收等步骤最终得到三氯氢硅。在多晶硅生产工艺中，三氯氢硅提纯工艺是整个生产工艺流程的关键步骤，纯度多晶硅产品的质量[5]。 对于多晶硅的生产企业而言由于硅粉中夹带硼、磷及部分金属杂质在制备三氯氢硅的同时这些杂质将与HCl反应形成BCl3、PCl3及金属氯化物等[6]。三氯氢硅中硼、磷等杂质含量直接影响硅棒的转型。在一定的条件下硼、磷可与单晶硅发生反应将性能影响。对三氯氢硅原料硼磷含量(0.08~0.10)×10-6和0.05×10-6（质量分数[7]。目前三氯氢硅生产企业生产的粗品中硼、磷质量分数为(0.2~0.4)10-6，多晶硅产品中硼、磷等杂质元素含量约为原料三氯氢硅中的4.8倍最终严重影响多晶硅产品质量[6]。1.2 现有精馏工艺流程 目前，国内三氯氢硅的精馏研究均采用三台精馏塔，即根据三氯氢硅物性关系先分离出轻组分，再提出三氯氢硅和重组分，最后对重组分进行精馏，分离四氯化硅和高沸物，精馏塔内设计为固定泡罩溢流筛板式。也有厂