《半导体表面与界面》异质结.pdfVIP

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第四章 异质结  1. 异质结及其能带结构  2. 异质结的电流输运机构  3. 异质结在器件中的应用 1. 异质结及其能带结构 P-n结限制 载流子输运 能级由p到n向下弯曲 内建电场方向由n指向p 势垒高度 电子和空穴势垒高度相同 无法独立控制 1. 异质结及其能带结构 P-n结限制 电荷空间分布无法独立控制 1. 异质结及其能带结构 异质结:两种不同晶体结构的半导体材料接触而形成的界面区域。 与pn结通过掺杂控制电流不同的是,异质结可通过材料组分改变实现额外控制。 形成异质结的两种材料通常有不同的能隙宽度和介电常数。 如p-SiGe/n-Si(一般禁带宽度较小的半导体材料放在前面)。 按导电类型划分: 同型异质结、反型异质结 按能带结构划分: 突变异质结、缓变异质结(以过渡区域宽度是否远大于原子间距来区分)。 1. 异质结及其能带结构 1. 异质结及其能带结构 AlxGa1-xAs可通过改变组分比例x调节直 接带隙值2.79变化到1.51,且与GaAs和 AlAs几乎具有相同的晶格常数。 Al In As 0.48 0.52 Ga In As 0.47 0.53 三元化合物 1. 异质结及其能带结构 组分渐变 1. 异质结及其能带结构 0.73~1.35eV Ga In As P x 1-x y 1-y 四元化合物 1. 异质结及其能带结构 1. 异质结及其能带结构 按能带对齐方式可将异质结分为三类: I 型( Straddling gap ) 按一种半导体的禁带完全覆盖另一种半导体。能带偏移(band offset)可以表示为: 1. 异质结及其能带结构 II 型( Staggered gap ) InAs半导体的导带底和价带顶分别低于Ga0.6Al0.4Sb半导体对应能级。 电子被局限在InAs中,空穴被局限在Ga0.6Al0.4Sb中。 1. 异质结及其能带结构 III 型( Broken gap ) 与II型相同的是: InAs半导体的导带底和价带顶分别低于GaSb半导体对应能级。 电子被局限在InAs中,空穴被局限在GaSb中。 1. 异质结及其能带结构 a a f  e s a e

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