非晶态三氧化钼薄膜超低温制备及其电致变色特性研究.pdfVIP

第31卷第6期 中 国 钼 业 V01．31 No．6 2007年12月 CHINA MOLYBDENUM INDUsTRY December 2007 非晶态三氧化钼薄膜超低温制备及 其电致变色特性研究 张金伟 ，刁训刚 ，王怀义 ，王天民 ，武 哲。，舒远杰 (1．北京航空航天大学理学院，北京 100083) (2．北京航空航天大学航空科学与技术学院，北京 100083) (3．中国工程物理研究院化工材料研究所，四川 绵阳 621900) 摘 要：在基片温度173 K的条件下，采用直流反应磁控溅射法制备MoO 薄膜。运用XRD、SEM、可见分光光度 计、伏安特征曲线、拉曼光谱研究分别对薄膜的晶体结构、微观表面形貌、透射光谱特性、电致变色性能及成分进行 分析，探讨了MoO 薄膜的电致变色性能和微观结构之间的关系。结果表明，超低温有利于MoO 薄膜非晶化，薄 膜表面有较多的孔隙，有利于Li 的抽取，进而显示出很好的变色性能，在550 nm处着色系数达到了41．6 cm ／c， 可见光400—800 nm范围内着色态和漂白态平均透光率差值达60％以上。Raman光谱分析发现，在拉曼位移831 cm ～ 、 952 cm 处有强的吸收峰，其中831 cm 处对应于0一Mo”一0的伸缩振动模式，952 cm 对应于Mo”=0 的弯曲振动模式。 关键词：薄膜光学；电致变色；超低温；三氧化钼；非晶态 中图分类号：TB34 文献标识码：A 文章编号：1006—2602(2007)06—0033一o4 STUDY oN ELECTROCHROMIC PERFORMANCES OF AMORPHOUS MoO3 FILMS PREPARED AT ULTRACOLD TEMPERATURE ZHANG Jin—wei ，DIAO Xun—gang ，WANG Huai—yi ，WANG Tian—min ，WU Zhe ，SHU Yuan—jie (1．School of Science，Beihang University，Beijing，100083，China) (2．School of Aeronautic Science and Technology，Beihang University，Beijing 100083，China) (3．Institute of Chemical Materials，CAEP，Mianyang 621900，Sichuan，China) Abstract：Amorphous MoO3 electrochromic films were deposited by DC reactive magnetron sputtering below 173 K． X—ray Diffraction(XRD)，Scanning Electron Microscopy(SEM)，spectr0ph0t0meter，cyclic vohammograms and Raman spectroscopy are used to analyze the structure，composition，morphology，transmittance property of the films and electrochromic performance respectively．The relationship between the microstmcture and electrochromic per- formance of the MoO3 film is also studied．Results reveal that the samples are am