Edwards：展示先进真空技术和尾气处理系统.pdf.pdfVIP

L一 企业与产品 悉 deposition，CVD)工艺，会对环境造成潜在威胁。在减少极有可能引致全球变暖的碳氟化合物 (PFC)等 工艺产生的有害物质排放方面，Edwards的真空技术发挥着重要的作用。” Edwards在中国市场拥有超过 11年的经验，已经成为中国上述三个主要细分产业的真空技术领导t 商。Edwards的真空产品和尾气处理系统适用于所有要求减低环境影响的应用，能够缓减一系列环境威 包括来 自于半导体生产的酸性和腐蚀性气体 ，并且通过吸收转化使原来的总体碳排放值减少到最 Edwards通过在一系列创新且经过验证的真空泵和系统中采用清洁的 绿“色”科技，使得客户能拥有相 低的设备投资和维护成本。 本次展 出的真空泵产 品包括 STP—iXR1606和 STP—iXA3306磁悬浮泵两个新 型号 。集 STP—iXR1606涡轮分子泵设计在性能和易用性方面均树立新的行业基准。该产品非常适合要求严苛f 用，包括CIGS太阳能制造、PVD镀膜，乃至低压CVD。 此外，Edwrads还展示了新型Spectra—G3000尾气处理系统，以及 iXH645／610、XDS35和GXS250／~ 真空泵，Spectra—G3000系统是市场领先的环保解决方案，适用于LED制造。随着LED成为中国十二五} 的核心焦点，Spectra—G3000和iXH645能够为LED制造商提供实际价值。 NeilLavender—Jones表示 ：“中国的半导体行业正在稳步发展，并且完全坚定地实施尖端技术。Edw 的真空产品和尾气处理系统在这一发展过程中起着至关重要的作用。这次在展会上所展出的真空泵产 充分体现了公司在生产极其可靠且具有高成本效益的真空解决方案方面所积累的数十年经验。”四 (j 编辑 ：黄友庚) Multitest：以最僮良品率来帮助窖户降低成本 Multitest是一家面向全球半导体厂商提供测试分选设备 的制造商，同时也是全球唯一一家能够同时提供测试分选机、 测试座和ATE印刷电路板的设备企业。 此次 SEMICONChina展会上，Muhitest重点展示了公司 MT2168测试机台，MT2168采用开放式非标准化测试位分布 结构，使用户既可充分利用相关优势，又不影响产量或产能。 测试位分布组件使得测试位间距可快速轻松地进行现场转 换。其显著的测试成本优势，不仅适用于集成设备制造商，也 适用于分包商及全系列应用。 中国区总经理王建武向我们介绍了MT2168的具体特点：MT2168覆盖广泛的常温和高温应用范匪 括器件尺寸从 3x3mm到70X70mm、厚度从 10mm到O．3ram的各种封装。机台上测试的封装类型切换I 不超过 l0分钟。MT2168利用领先技术实现了最佳测试仪利用率，使 Index时间(DUT交换时间)、预： 力、并行性和生产率均与新一代测试仪保持同步。 MT2168的设计采用最小数量的拿放转换。同时针对不同封装类型的改装套装组件数量也控制在点 以实现轻松快捷的设置。MT2168以自校准程序代替人工调整工作，使系统更加稳定可靠。其 自适应感 念确保最佳定位精度，保证了高产出。基于Multitest在温度处理方面的领先优势，MT2168每DUT配备 单独的温度控制回路。 http：llwww．cicmag