改善数字式加速度计处理电路温度稳定性的一种方法.pdfVIP

第23卷 第12期 传 感 技 术 学 报 Vo1．23 No．12 2010年 12月 CHINESE JOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Dec．2010 OneM ethod toImprovetheTemperatureStabilityofProcessing CircuitofDigitalAccelerometer ZHANGBin，WANGHao，ZHANGXia，HUShichang，jlNZhonghe (DepartmentofInformationScience＆ElectronicEngineering，Zh~iangUniversity，Hangzhou310027．China) Abstract：A digitalprocessingsystem basedonacapacitiveMEMSaccelerometerisintroduced andtheanalysisis ， concentratedonthetemperaturecharacteristicofDA andAD．Thatproposalobviouslyimprovestheworseningphe— nomenonaboutstabilityintheaccelerometersystem duetoDA andAD throughthedivisionoperation ofampliti— tude—modulatedsignalandcarriersigna1．Accordingtocarriersignalhavingdifferentcharacteristicwithamplititude— modulatedsignal，andbyusingsquare—wavedemodulationthoughtthesimplifieddigitalsquare-wavedemodulation algorithm wasdesignedtocarryonthedigitaldemodulationtothecarriersigna1．Bythenew algorithm ，wecansave themassiveFPGA hardwaresource，andithastheabilityofphaseself—aligningwhen demodulating． Keywords：MEMS；accelerometer；FPGA ；DA ；AD EEACC：7230E doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2010．12．011 改善数字式加速度计处理电路温度稳定性的一种方法术 张 斌 ，王 昊，张 霞，胡世昌，金仲和 (浙江大学信息与电子工程系，杭州 310027) 摘 要 ：介绍了一种电容式微机械加速度计的数字化处理电路，并重点介绍了数模转换器和模数转换器的温度特性。提出 通过将调幅信号与载波信号进行相除运算，来显著的改善 由于模数转换器和数模转换器引起的加速度计系统稳定性恶化现 象。根据载波信号具有的一些与调幅信号不同的特性 ，运用方波解调的思想，设计 了简化的数字方波解调算法对载波信号进 行数字解调 ，这个算法可以节约大量的FPGA硬件资源，并且可以在解调时实现相位 自动对准。 关键词 ：微电子机械系统 ；加速度计；现场可编程门阵列；数模转换器 ；模数转换器 中图分类号：TH811；TH824．4 文献标识码 ：A 文章编号：1004—1699(2010)12—1722-06 在现代社会 ，MEMS加速度计被广泛地运用于 的温度 ，经过如此处理后，使整个加速度计系统的温 航空航天、惯性导航 、军事 、汽车、消费电子、工业 、医 度稳定性完全取决于处理电路的温度稳定性 。而经 疗等各个领域 -3]。MEMS加速度计的性能取决于 过实验测试可以得出本文所用的 14位模数转换器 ME