半导体设备的可靠性、维修性和可用性.pdfVIP

半导体设备的可靠性◆维修性和可用性 北京七星华创电子公司 董大为 当今在半导体设备采购中，需方(Purchaser)除 技术、管理、供方(Supplier)和使用方(User)都有关． 关注设备的性能和工艺保证性指标 (Guaranteed 因此，要作为一项考核指标，应进行合理的界定。 Specifications)外，还普遍关注设备的可靠性 (Relia— SEMI El0—0304用设备在生产中占用的时间来确 bility)、维修性 (Maintainability)和可用性(Avail— 定并计算设备的可靠性、维修性和可用性，成为需方 ability)。 和供方统一的、可操作的技术指标。SEMI El0— 可靠性在国标GB／T 3187—94中被定义为：产 0304把设备所处的时间分成六类如图1所示。 品在规定的条件下和规定的时间区间内完成规定功 图1中六类时间所包含的内容如下 能的能力，它常用平均失效间隔时间MTBF(Mean ① 非计划时间 Time Between Failures)来表示，MTBF是指失效间隔 ◎设备不安排生产(如轮休、周末、假日等) 时间的期望。．维修性在上述国标中被定义为：在规定 ◎设备安装、改进、重建和升级 的条件下并按规定的程序和手段实施维修时，产品 ◎离岗培训 在规定的使用条下，保持或恢复能执行规定功能状 ② 无计划不能工作时间 态的能力，它常用平均修复时间MqTR(Mean Time ◎维修延误(如等待人员、另件或消费品) To Repair)来表示，MqTR是指修复前时间的期望。 ◎修复(如诊断、修复、测试、检验) 可用性在上述国标中被 (1)非计划时间 定义为：在要求的外部 Non·——Scheduled Time 资源得到保证的前提 t (2)无计划不能工作时间 下，产品在规定的条件 设备不能工作 Unscheduled Downtime 总时间 下和规定的时刻或时间 时间 Tn I l VL _ 区间内处于可执行规定 Equipment Downtime (3)有计划不能工作时间 Ti le 功能状态的能力，它常 』 Scheduled Downtime ● ● 用设备能工作时间(Up (4)T程时间 乏各能工作 Engineering Time 工作时间 Time)％或可用时间来 寸间 Operations 表示。可用时间是指产 !quipment (5)待命时间 TimI 品处于可用状态的时间 Iptime Standby Time 制造时间 区间。可用性是产品可 Manufactu nng (6)生产时间 靠性，维修性和维修保 Time P roductive Tim e 障性的综合反映，它与