第四章 常用传感器工作原理PPT.ppt

1、 压电单晶 压电单晶为单晶体，各向异性。主要有石英(Si02)、铌酸锂(LiNb03)等 石英晶体有天然与人工之分，是压电单晶体中最具代表性的。石英晶体呈六角棱柱体。有光轴(中性轴)、电轴和机械轴。 光轴z——纵轴线，沿该轴方向无压电效应。 电轴x——通过六角棱柱的棱而垂直于光轴的轴。在垂直于此轴的平面上压电效应最强。 机械轴y——垂直于棱面的y轴，在电场作用下，沿该轴的机械变形最明显。 光轴 电轴 机械轴 z x y Fx Fx + - z x y Fy Fy + - z x y Fy Fy - + ★ 纵向压电效应——沿x轴受力产生的压电效应；横向压电效应——沿y轴受力产生的压电效应；切向压电效应——沿切向受力产生的压电效应 ★ 从晶体上沿各轴线切下一片平行六面体切片，当受到力的作用时，其电荷分布在垂直于x轴的平面上。 由纵向压电效应产生的电荷量q为： 作用力 纵向压电常数 石英晶体：压电常数比较低，d11=2.31×10-12C/N；良好的机械强度和时间及温度稳定性。适用于精确度和稳定度要求特别高的场合。 铌酸锂晶体：是人工拉制晶体。居里点高(12000C)，适于高温传感器；缺点：质地脆,抗冲击性差,价格较贵 2、压电陶瓷 压电陶瓷——是一种经极化处理后的人工多晶体。如钛酸钡、锆钛酸钡。压电陶瓷特点：压电系数大，灵敏度高，价格低廉，居里点较低。 3、新型压电材料 （1）有机压电薄膜 某些合成高分子聚合物，经延展拉伸和电场极化后形成具有压电特性的薄膜。如聚偏氟乙烯(PVF2)、聚氟乙烯(PVF)等。 特点：柔软，不易破碎，面积大等。可制成大面积阵列传感器和机器人触觉传感器。 （2）压电半导体 有些材料，如硫化锌(ZnS)、氧化锌(ZnO)、硫化钙(CaS)、砷化镓(GaAs)等，既具有半导体特性，又有压电特性。因此，既可利用压电性能制作敏感器件，又可利用半导体特性制成电路器件，研制成新型集成压电传感器。 居里点或居里温度：指材料可以在铁磁体和顺磁体之间改变的温度。低于居里点温度时该物质成为铁磁体，此时和材料有关的磁场很难改变。当高于居里点温度，该物质成为顺磁体，磁体的磁场很容易随周围磁场的改变而改变。这时的磁敏感度约为10-6. 三、等效电路 蒸镀金属形成电极 晶片两表面相当于电容器的两个极板 F + + + + + + + + - - - - - - - 两极板之间的压电材料等效于电介质 因此，压电晶片相当于一只平行极板电容器，其电容量为： 极板面积 压电材料的介电常数 压电晶片的厚度 压电元件可等效为一个具有一定电容的电荷源。电容器上的开路电压U0为： 压电元件上所产生的电荷量 + 并联：适于测缓变信号和以电荷为输出量的场合 + ★ 当压电式传感器接入测量电路，连接电缆的寄生电容形成传感器的并联寄生电容Cc，传感器中的漏电阻和后继电路的输入阻抗形成泄漏电阻R0，等效电路为： R0 Cc q Ca ★ 由于后继电路的输入阻抗不可能为无穷大，而且压电元件本身也存在漏电阻，极板上的电荷由于放电而无法保持不变，从而造成测量误差。因此，不宜利用压电式传感器测量静态或准静态信号，而适宜做动态测量。 ★ 压电晶片有方形、圆形、圆环形等各种，而且往往是两片或多片进行串联或并联。 串联：适于测高频信号和以电压为输出量的场合 四、测量电路 输出电荷量很小，且压电元件本身的内阻很大 压电式传感器 高输入阻抗 前置 放大器 输出电压或电荷 电压 放大器 电荷 放大器 可采用比例放大器。电路简单，但输出受到连接电缆对地电容的影响 目前常用 Uy Ui 传感器电容 电缆电容 放大器输入电容 电荷放大器：高增益带电容反馈的运算放大器 若电荷放大器的开环增益足够大，放大器输出电压： 可见，在一定条件下，输出电压与传感器的电荷量成正比，且与电缆电容无关。 压电式传感器动态特性好、体积小、重量轻，常用来测量动态力、压力，特别是测量振动加速度的惯性拾振器大多采用压电式传感器。 力传感器 压力变送器 加速度计 产品： 案例：飞机模态分析 案例：热轧设备诊断 第六节 磁敏传感器 一、霍尔元件 霍尔效应——将导电体薄片置于磁感应强度为B的磁场中，如果在a、b端通以电流I，则在c、d端就会出现电位差。 a b c d 霍尔效应原理：在磁感强度为B的磁场中，电荷为q、运动速度为v的带电粒子，所受的磁场力——洛仑兹力，为 霍尔电势UH为 霍尔常数 磁感应强度 电流