压阻式一体化压力传感器的研制研究.pdf

第二届全国信息与电子工程学术交流会暨第十三届四门l省电子学会曙光分会学术年会论文集 ．271 压阻式一体化压力传感器的研制 t王小龙’昊俊 621 (中国工程物理研究院总体工程研究所， 四川 绵阳， 900) 摘要通过对传统电桥式传感器温度校正方法的分析，提出校正过程中存在的问题，利用压阻 式传感器芯片和MAXl452信号调理芯片设计了一体化压力传感器．并给出了传感器的标定数据。 关键词绝压传感_器MAXl452一体化传感器 of Piezo-resistivePressureSensor Development Integrative WANG Jun Xiao-long,WU china) Abstract：BasedOil oftraditional correctionmetllodfor s明soLthe analysis temperature bridge-type inthe ofcoffeetion s∞sor w蝎designed problem process integrative byusing is弦∞nted．A andMAXl452 piezo-resistives∞sorchip signalconditioning words：Absolute sensor Key pressuresensor；MAXl452；Integrative 1引言 传统的桥路零点和满量程输出都容易受到环境温度及其变化的影响。因此，为了提高传感器的 精度及长期稳定性，一般都需要对桥路的温度性能进行补偿。传统的补偿方法是在桥路上串接温度 敏感电阻，通过多次循环调节找到合适的补偿电阻值。这种补偿周期较长，并且补偿精度通常不高。 MAXl452芯片的一阶和二阶温度补偿功能，较好的解决 了桥路的温度特性补偿。 2传统补偿方法“1 传统的补偿方式如图1所示，电路中的调零电阻Rz 用来补偿传感器在室温下的失调电压．电阻RTs和Rrz(或 R。Tz)用于校正温度引起的误差，电路中选择Rrz还是R1z 取决于失调的温度漂移方向。 图1桥路传统校正方法 ’作者简介：王小龙(1978--)男，黑龙江省齐齐哈尔市人，助理工程师，硕士，主簧从事测试技术和传感器设计方 向的研究 压阻式一体化压力传感器的研制 对于图2中传统的校正方法，设桥路的总电阻为RBR，则在图2的传统校正方法中，电桥部分 的电流‰为： k=彘I 如：箍。志， ㈤ 墨+马+R+恐+i；若1呐”协 k赢磕R1+R4×彘。丧， (3) ～。…