气囊抛光工具的研制及特性测试.pdfVIP

工艺与工艺装备 气囊抛光工具的研制及特性测试+ 口高波姚英学谢大纲袁哲俊刘妍 摘要 气囊式抛光是一种新颖的非球面抛光方法。气囊是该方法的关键部件，为控制它的变形和柔性，采用层合复合材 料的制作方法，对气囊结构进行改进，然后从机械特性和应用两个方面，对改进的气囊进行试验和分析。研究结果表明， 改进后的气囊具有变形小、柔性好的特点，能满足实际应用要求。 关键词：气囊抛光 抛光工具气囊接触区 中图分类号：THl6文献标识码：A文章编号：1671_3133(2004)10珈052珈3 and test0fbonnet t00l Developmentproperty polishing Yan 口GaoBo，YaoYingxue，xieDagang，YuanZhejun，Liu AbstractThebonnettool isanovel surface methodandthebonnetisits contrul p01ishing a8pheric polishing keycomponent．7ro stnIctureis ofadhesivelaminate Then Lhedeforma“onand of bonnet themethod nexibilitybonnet，the impmVedusing composite． in and is thaLthe bonnetisof and areconducteditsmechanical It experimentsanaJysis propertiesapplication．proved improved meetthe thecharacteristicoflessdefbrmationandbetter can of nexibility，whichrequirementsapplication． area tool toolBon眦tContact Keywords：BonnetpolisIIingPolishing 气囊式抛光是一种新颖的抛光方法，尤其适合曲 度p，气囊表面速度为零点在接触区之外。另外，气囊 面的抛光，目前在国外该项技术正处于研究发展阶段。 自转轴线又绕通过其球心的接触法线旋转，这里称为 它采用球形柔性气囊作为抛光工具，气囊外表面粘贴 “进动”，角度p称为“进动角”，如图1所示。 抛光膜，内部的压力可调节。抛光工具的材料去除特 依据上述运动方式， 性、滞留时间和路径的控制是其关键，而气囊是该方法 整 抛光气囊的球面半径尺， 的一个关键的部件，对抛光的成功有很大的影响。本 受抛光接触区最大尺寸 文以气囊为研究对象，为控制它的变形和柔性，改进了 L。。和最小进动角p。i。的限 气囊的结构，初步确定了几种气囊，并对气囊的机械特 《勤 定。图l中，从抛光接触 性、应用两方面进行了试验和分析，最后对改进的气囊 区中心点到气囊旋