亚波长导模共振滤波器研究概况.docVIP

亚波长导模共振滤波器的研究概况 　　摘要： 　　基于导模共振效应的亚波长滤波器具有高峰值效率、宽窄带以及低旁带等特点，是一种性能优良的滤波器结构。简要介绍了导模共振滤波器的基本理论、分析方法和一维双层亚波长光栅结构，从可调谐、多通道以及彩色滤光三个应用方面总结了导模共振器件的研究进展，并分析了关键技术和技术难点。阐述了该器件的重要研究意义和应用价值。 　　关键词： 　　导模共振； 滤波器； 亚波长； 多通道 　　中图分类号： O 43文献标志码： Adoi： 10.3969/j.issn2016.02.017 　　Abstract： 　　Guidedmode resonant filter is a type of remarkable filtering device，which possesses the advantages of high efficiency，narrow bandwidth and low sideband.The basic theory and 1D doublelayer subwavelength grating structure are presented in this paper，and the research progresses of tunable optical effect，multiple channels and color filter are also introduced.Furthermore，we discuss the main technology and difficulty，and summarize the significance and wide prospect for application. 　　Keywords： guidedmode resonance； filter； subwavelength； multiple channels 　　引言 　　导模共振滤波器件在理论研究与实际运用中都具有重要意义，通常表现为介质光栅的反射异常，即指当入射波的波长、入射角等入射条件或光栅结构参数作微小变化时光栅衍射传播能量发生剧烈变化的现象。1902年，Wood等在研究金属反射光栅时，首次从实验上发现了这种导模共振效应的异常现象[1]，具体的理论解释则是由Magnusson等在1992年提出，并运用到滤波器的设计中[23]。 　　亚波长导模共振滤波器相较于传统的滤波器件，具有高峰值效率、宽窄带以及低旁带等特点，是一种性能优良的滤波器结构，同时该结构对入射光的特性以及本身的物理结构参数都非常灵敏，利用这个特性能够使其应用于生物样品等高灵敏度大通量检测领域中。本文介绍了导模共振滤波器的基本理论和结构，并总结了该器件在可调谐、多通道以及彩色滤光三个方面的研究进展、关键技术及技术难点。 　　1导模共振效应的理论基础 　　光栅可以看作是周期调制的波导，当光栅的高级次子波与波导所支持的导模在参数上接近时，光栅的能量重新分布，由于光栅的周期调制性使得光栅波导有泄漏，因而泄漏能量也重新分布形成导模共振效应。基于导模共振效应设计制备的滤波器受到关注主要是因为其具有以下三个特点：衍射效率高、共振波长和极低的旁带。近年来，随着制备工艺的渐趋成熟，对于导模共振滤波器的研究主要集中在其特性研究和结构设计等方面。 　　2导模共振滤波器的研究进展 　　2.1可调谐滤波器 　　亚波长导模共振滤波器对入射条件以及结构本身的物理参量都具有很强的敏感性，利用这个特点可以设计出性能优良的滤波器，所以近几年针对这个特性进行的研究越来越多。基于导模共振效应的一维双层滤波器结构，如图2所示，其由基底层、波导层和光栅层组成，其中光栅周期为T，占空比为f，厚度为d。这种滤波器结构的制备步骤简单，涉及到的工艺较为成熟，应用前景也较为广泛，大量的课题组都在此结构基础上进行了研究。 　　Wu等研究了入射角的变化对光栅结构衍射效率造成的变化并应用到认证标签的制作中[8]。Dobbs等制备了一种存在梯度的波导层所构成的导模共振滤波器，从而实现在同一器件上通过选择不同位置的共振峰位置的调谐[9]。Niederer等设计了一种通过改变入射角度来调节共振波长的滤波器，调节范围在1 526 nm到1 573 nm左右[10]。Qian等设计并制作了一种通过液晶调控来实现共振峰带宽调谐的导模共振滤波器[11]。Xu等通过把PDLC作为波导层材料，从而实现共振波长的实时调谐，用以补偿入射角所造成的波长偏移[12]。 　　2.2多通道滤波器 　　多通道滤波片相较于一般的单通道滤波器结构能够实现在同一个结构上拥有更多的滤过波长，在一些特定领域能够得到应用。根据光波