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基于数字微镜器件激光光刻技术 　　摘 要：数字微镜器件（Digital Micro-mirror Device，DMD）作为数字光处理技术（Digital Light Processing，DLP）的核心，可通过控制其反射微镜的偏转实现全数字化成像。基于DMD的数字光刻系统采用动态数字掩模的曝光方式，分辨率高、速度快、加工面积大，可用于制作复杂三维结构和表面浮雕结构。本文阐述了DMD的基本结构和工作原理，分析了其灰度调理机制和投影成像特性，介绍了基于DMD的数字光刻技术的两个重要研究方向：灰度光刻技术和微立体光刻技术，具体探讨了DMD在两种技术中的应用。 　　关键词：数字微镜器件（DMD） 数字光刻 灰度光刻 微立体光刻 　　中图分类号：TN305.7；TN249 文献标识码：A 文章编号：1672-3791（2017）10（b）-0060-03 　　Abstract：Digital micro-mirror device （DMD） is the core of the digital light processing technic. Controlling deflexion of micro-mirror can realize digital imaging. Digital photolithography based on DMD use dynamic d