超磁致伸缩微位移系统的分析-机械电子工程专业论文.docxVIP

第 第 1 章 绪论 沈阳理工大学硕士学位论文 沈阳理工大学硕士学位论文 - - PAGE 13 - - - PAGE 10 - 第 1 章 绪论 1.1 课题提出的研究背景及意义 1.1.1 微位移系统的研究背景 随着现代科学技术的飞速发展，在现代科学研究领域和尖端工业生产中具有 高精度和高分辨率的超精密驱动系统占有极其重要的地位。它是直接影响精密、 超精密切削加工水平、精密测量水平的关键环节。同时它的各项技术指标是各国 高技术发展水平的重要标志之一[1]。 作为先进制造技术的重要组成部分之一的精密微驱动技术，在精密加工、光 学调整、光纤作业、激光制导、生物医疗等高技术领域都扮演着重要的角色。传 统的机械传动式微位移驱动器，由于存在机械间隙、摩擦力以及爬行现象等原因， 难以达到精密控制要求。人们试图探索一种新型的微驱动方式，以摆脱单纯的机 械传动形式。利用物理效应和能量转变的方式是当前微驱动器发展的一个重要方 向，借助于功能材料、智能材料等物性的转变实现微位移驱动。不仅使用更加简 捷、结构变得更加紧凑，而且精度可由传统的微米级提高到纳米级。随着各种智 能型新材料如压电陶瓷、形状记忆合金、超磁致伸缩材料等材料的产生，可以依 靠智能材料的功能特性来实现微驱动，代替了原本依靠精巧机构，精密检测和精 确控制完成的微驱动方案[2]。 微驱动系统的性能主要表现在：位移分辨力、位移范围、输出力、位移稳定 性及响应速度等方面。目前，在微位移驱动器的研究中，压电式和电致伸缩式是 应用较广泛的微位移驱动器，它们具有精度高、不发热、响应速度较快等优点， 而且理论研究及控制技术也已经比较成熟，可以说压电陶瓷材料的微位移驱动器 是目前分辨力和频响比较高的一种驱动方式[3]。但这种驱动器也存在着不足之处， 1、压电型微驱动器在工作时所需要的电压高，在防止高压短路方面需要十分的注 意；2、压电型微驱动器的输出力比较小，并且其输出位移的范围也比较小；3、 由于压电陶瓷采用叠片式的结构，其工作时在负荷作用下，自身组织结构会产生 不规则的应变和蠕变，很容易产生漂移现象。这些不足都限制了压电陶瓷在微位 移驱动器方面的应用。而形状记忆合金虽然是已知的功能材料中变形量最大的一 种，但其响应速度慢且形变过程不连续，因而也使其应用范围难以拓展。 超磁致伸缩材料(Giant Magnetostrive Material，简写为 GMM)是一种新型功能 材料，具有极大磁致伸缩的一类金属化合物[4]。其具有的优异特性，给微位移驱动 技术带来了更大的提高。针对目前微位移驱动器普遍存在的问题，基于超磁致伸 缩材料的伸缩系数大、磁机耦合系数高、响应速度快、输出功率大等优点，将超 磁致伸缩材料引入到微位移驱动器中，会充分发挥出超磁致伸缩材料特性上的优 势。利用超磁致伸缩材料设计开发出的微位移驱动器，具有分辨力高、输出力大、 体积小、驱动电压低等优点。在很多领域得到了广泛的应用[5]。 1.1.2 微位移系统的研究意义 超磁致伸缩材料以其具有的前所未有的独特性能，在其应用领域可以开发出 一系列高新科技的新产品，并且该材料具有经济寿命期较长的特点，市场发展潜 力十分巨大。因为超磁致伸缩材料在国外市场上正处于生长期，到成熟期还需要 相当长的发展周期，国外市场仍有很大的发展空间[6]；在国内市场上，应用产品的 研制正处于萌芽期，如果某个应用产品开发成功，进行开发的单位将拥有自主知 识产权，达到技术独家垄断。由此看来，微位移系统的研究将为其发展注入无限 的生机与活力。 超磁致伸缩材料本身固有优良的特性，是制作微位移驱动器的良好材料。目 前对超磁致伸缩材料研究已成为国内外功能材料的研究热点。在国内，中科院物 理研究所等几家科研单位已经成功的研制出了稀土超磁致伸缩材料，但总体来说 国内在超磁致伸缩材料及其应用技术的研究还刚刚起步。而西方工业国家均投巨 资对磁致伸缩材料的生产工艺、材料性能以及应用技术进行了广泛研究，并且已 开发出相应的商品化产品，其性价比在不断的上升。我国具有丰富的稀土矿产资 源优势，稀土资源占全世界已知储量的 80％，其地位可与中东的石油相比，开发 超磁致伸缩材料的应用产品具有极其重要的战略意义。因此，在国内进一步开展 超磁致伸缩材料以及应用技术的研究，将会对形成新的经济增长点和高技术产业 等方面具有深远的意义[7]。 因为超磁致伸缩材料具有独特的力学、物理特性，在微位移技术领域有着其 它材料无法比拟的优势，得到了越来越广泛的应用。并且我国具有丰富的稀土矿 产资源优势，为稀土超磁致伸缩材料及器件产业的发展具有坚实的物质基础。到 目前为止，在超磁致伸缩材料的基础理论和工程应用方面的研究相对来说都很薄 弱。因此，利用超磁致伸缩材料制作的超磁致伸缩微位移驱动器在精密定位领域 有着