硅微机械陀螺仪静电补偿与控制技术研究和实验-仪器科学与技术专业论文.docx

东南大学学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所 东南大学学位论文独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所 知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果， 也不包含为获得东南大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本 研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 研究生签名： 东南大学学位论文使用授权声明 东南大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆有权保留本人所送交学位论文的复印件和电 子文档，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相 一致。除在保密期内的保密论文外，允许论文被查阅和借阅，可以公布(包括以电子信息形式刊登) 论文的全部内容或中、英文摘要等部分内容。论文的公布(包括以电子信息形式刊登)授权东南大 学研究生院办理。 研究生签名：龃师签名纽期：趁!兰：璺9 万方数据 摘要摘要 摘要 摘要 硅微机械陀螺仪是MEMS技术在惯性仪表领域的一个重要应用，具有体积小、重量轻、成本低、 可批量生产、抗冲击性能好等优点，在国民经济和国防军事领域均有重要的使用价值和广泛的应用 前景。尽管近十几年硅微机械陀螺仪的精度显著提升，但由于各种因素的限制，其静态和动态性能 依然无法满足中高精度领域的要求，这些因素主要包括：加工误差引起的陀螺输出信号的恶化及漂 移；陀螺结构机械灵敏度和陀螺仪带宽的矛盾；检测模态动态性能需进一步提升等。在静态情况下， 陀螺仪输出信号主要表现为漂移和噪声，因此，抑制漂移和噪声、增大陀螺机械灵敏度是提高陀螺 静态性能的必然途径。此外，拓展窄频差陀螺工作带宽，提高其动态性能是发展高精度陀螺的必由 之路。 本文以提高硅微机械陀螺仪静态和动态性能为目的，在现有加工工艺基础上对陀螺静电补偿与 控制技术进行了深入研究和分析，主要研究内容包括： (1)表头机械和电气模型建立和分析 在simulink环境中建立了含有理想状态驱动和检测模块，驱动白激振荡模块，耦合刚度和耦合 阻尼机构，机械热噪声模块，正交刚度校正机构，检测力反馈机构，频率调谐机构等部分的陀螺结 构相关模型，并以此为基础先后进行了驱动闭环回路，正交校正回路，检测闭环回路，频率调谐回 路等子系统的分析和仿真，各项结果均证明了本文提出的表头机械模型的准确性。此外，结合微结 构的等效电气模型分析了高信噪比接口电路。 (2)正交校正技术研究和优化 分析了正交误差的产生原因及其表现形式，并量化了其对陀螺输出信号的不利影响。针对正交 信号、正交力和正交耦合刚度采用了电荷注入法、正交力校正法和正交耦合刚度校正法，分别进行 了系统稳定性分析和系统仿真，并根据双质量结构提出了独立校正方式。实验表明正交耦合刚度法 优于其他两种方法，并证明该方法可有效减小陀螺输出的漂移趋势。 (3)双质量陀螺检测模态工作模型研究及实验 通过理论分析得到双质量结构中检测模态实际工作模型是由反相和同相模态以各自权重叠加而 成。提出了可精确测试陀螺检测模态特性的力反馈梳齿激励法，以该方法为基础对检测模态进行测 试，结果与理论分析结果相吻合。为后续设计检测开环回路和闭环控制器奠定了坚实基础。 (4)检测闭环系统设计及带宽拓展 在检测模态工作模型的基础上，研究了开环检测方法，仿真和实验结果均验证了检测开环方法 的可行性和正确性，且开环状态下的带宽由陀螺驱动和检测工作模态频差决定。随后，提出了基于 偶极子补偿控制器和比例．积分相位超前控制器(PIPLC)的检测闭环方案，仿真结果显示PIPLC有 更好的带内平坦度和带宽特性。对由PIPLC组成的闭环控制系统进行了实验，结果证明了反馈力有 效平衡了哥氏力，抑制了检测位移，拓展了带宽，提高了动态特性，与仿真结果吻合。 (5)频率调谐技术研究及仿真 通过分析频差和正交信号相位之间的关系，提出了频率自动调谐方案：当模态匹配时，正交信 号由原来的与驱动位移同相跳变至相位差为900左右，且在窄频差范围内(士10Hz以内)正交信号 万方数据 摘要 摘要 中驱动位移同相分量值唯一，指出调谐状态时应使检测反相模态频率略低于驱动模态以便拓展带宽。 系统仿真结果显示系统工作后，频差很快稳定在设定值附近，达到了预期目的。 (6)性能测试及分析 分别对陀螺的检测开环正交开环、检测开环正交闭环和检测闭环正交闭环状态进行了详细测试。 测试结果显示三种状态下的陀螺零位值、零偏稳定性和带宽分别为--4．772。／s，5400／h，10Hz；1．7470／s， 24．050／h，12Hz；．1．5210／s，7．120m，104Hz。采用正交校正和检测力反馈技术后，陀螺静态