采用双私服回路和数字滤波器的超精密定位伺服压电致动系统 [外文翻译].docVIP

外文翻译 采用双私服回路和数字滤波器的超精密定位伺服压电致动系统 前言 最近几年，超精密定位技术已成为精密机械发展的重要组成部分。在数百毫米幅度内如何实现微纳米精度已成为超精密机械工具和半导体制造设备（如平板步进电机）领域的主要问题。其中最实用的一种方法是采用粗定位和精定位平台以达到精确定位[1-3]。粗定位平台（整体平台）可在长范围到几百毫米精度内调节，而精定位平台（微型平台）可在亚纳米精度下进行小范围调节。为链接这两个平台，需寻找到一个适当的控制算法。Sakuta等开发了一个双伺服机构，该机构包括有摩擦驱动器和压电陶瓷驱动器。压电陶瓷驱动器安装于摩擦驱动器的侧方，定位系统通过英寸级蜗杆运动控制。Okazaki等开发了一个粗/精伺服系统的定位平台。该平台的位移由激光干涉器和隙规测量。伺服系统通过任务共享位移范围和频率范围来控制。Lee和Kim开发了一个双伺服平台机构，该机构包括一个三自由度直线电机驱动的粗定位平台和一个三自由度压电驱动的精定位平台。该机构并通过PID控制。在本论文中，一个超精密定位平台将被开发：整体定位平台（粗定位平台）和微型定位平台（精定位平台）的联合有一个超精密的长行程。一个基于伺服电机的滚珠丝杠被应用于整体定位平台，而压电陶瓷驱动微型平台的驱动方式设计成采用柔性铰链的设计原则，此时有些设计参数易于评估。对于高动/静性能，双伺服控制回路运算已成功使整体定位平台和微型定位平台构成链接，并使很大范围运动内达到亚纳米级精度。一些环境因素（例如振动、噪音）已被发现是在亚纳米范围内获得更高精度的主要障碍。而一些特定的数字滤波技术已采取实施。在诊断振动源后切比雪夫数字滤波技术已设计且实施。所开发的系统已成功应用于实际定位系统，在200毫米的长行程中提供了三倍的精确度，证明了超精密的高性能。 微动平台的设计 一个为实现超精密平台微动的有效方法是采用柔性铰链机构。该柔性铰链机构是采用弹性铰链，因此能提供柔滑、无摩擦的连续运动。图1显示了两种典型的柔性铰链结构：圆弧型铰链和。。。铰链。 。。。铰链由于其在运动方向上的普遍性而被看做是万向节。而图1中的圆弧型铰链，R表示半径，t表示厚度，w表示铰链凹槽的宽度，圆弧型柔性铰链的弯曲强度KB 根据方程式1运算，其中2R+t近似于铰链宽度w。而。。铰链的弯曲强度KB 根据方程式2运算，其中R和t类似方程1的定义，而E是对柔性材料的杨氏模量。 （圆弧型柔性铰链） （1） （。。。 柔性铰链） （2） 使用柔性铰链的微型定位平台设计，通常采用多式铰链一个对称结构和微小寄生运动。因此，在本论文中 微精密平台采用八个柔性铰链设计为提供一个自由度运动。图2显示了一个微定位平台，该平台静刚度如下运算。Q表示沿平台运动方向的位移，L表示平台中心到各自圆弧中心的距离。然后每个铰链旋转q/2L，因此微型平台的总弹性性能是各个柔性铰链弹性性能的总和。N是铰链的个数，总弹性能U。铰链的个数是八个。 (3) 所以根据能量原理，沿q方向的弹性力Fq来源于总能量U和q的偏导数，即： (4) 因此，沿q运动方向的微动平台静态刚度λq (5) 动态特性也通常用拉格朗日原则运算。当q’ q’’是平台沿q方向运动的速度和加速度时，平台的总动能T 为 （6） 若W是平台的质量，I0 是柔性铰链绕柔性体中心旋转的转动惯量，因此 （7） 若m是铰链的质量, l是铰链的长度,因此式7 可变为 （7a） 另一方面，弹性势能U 可由刚性λq 和移动方向上位移q推到得， （8） 因此，拉格朗日函数L可由此定义得 （9） 平台移动方程式为 （10） 在式（10）中，条件由式（9）中取得 因此，平台的自然频率ωn由此得 （11） 因此，微动平台移动的静动态性能已做评估。 双伺服控制系统 为了使设计的微型平台与整体平台相关联并提供长程的移动，整体平台被设计成滚珠丝杠电机驱动。微型平台和整体平台通过机械部件连接，并实行一个合适的控制运算以实现两平台运动的顺滑连接。在本论文中，为达到此目的，采用双伺服闭环控制算法，而一个控制计划的详细框图由图3展示。整体平台包括基于直流驱动电机的滚珠丝杠，直流电流放大器，反馈反转编码器，实现粗定位PID控制的数字处理板。微型平台包括压