一种使用压电驱动的针对微物体操作的微夹[外文翻译].docVIP

一种使用压电驱动的针对微物体操作的微夹S.K. Nah, Z.W. Zhong S.K. Nah, Z.W. Zhong. A microgripper using piezoelectricbactuation for micro-object manipulation[J]. Sensors and Actuators , 2007, A133: 218–224 摘要：演示了一个整体的基于柔性铰链的微夹钳的设计、制造和测试。通过有限元分析来考虑其几何结构和物体应力。仿真模型过去常常被用来具体的分析剖面的应力分布和变形。微夹钳中的最大应力比物体疲劳的临界应力小得多。微夹钳的原型通过微电极电火花加工被制造。实现了位移放大3.0和最大行程170 μm。使用压电驱动能保证精密的定位。显微操作测试被认为是压电驱动的在处理微物体方面的潜在应用。模拟和实验结果证明了微夹钳具有良好的性能。 关键词：夹钳，执行器，操作，压电驱动 引言 大范围的重要的应用，如组装微小物体以得到微型系统或在电子组装中的组成部分，都要求夹取和操作微小物体。一个有效的微型机械操作手应该具有高精度且稳定的抓取不同形状的物体的能力。操作器应该能准确的控制抓取的力量，以避免任何对小尺寸且易碎物体（直径小于1 mm）的损害。多年来，微技术已经为一些消费品而得到开发，特别是电子学，信息技术学，光学医药和生物学，其范围覆盖如：诊断，药物的传递，组织工程，微创手术等。尽管在微小型部件的制造商已经等到巨大的成绩，但是将这些微系统组装起来仍然需要大量的最终成本。 微夹钳是在微型机器人和对微小物体的无损处理和操作的微组装技术中的一个关机元素。所有微夹钳的一个最基本的组成部分就是其执行器，它提供所需要的作用力来使设备如微夹钳那般运作。各种不同类型的微夹钳的驱动方法已经得到了开发，包括电热驱动，静电驱动，压电驱动，和形状记忆合金驱动。 微夹钳不同于传统的夹钳。直径小于100 μm的微小型零件常常是脆弱的，并且会在夹取中被损害，因此，需要有特别的抓紧技术。一个微小的夹钳可能是用于微小物体的安全转运，如电子设备，和在生物医用中的内窥镜操作中需要的一个用于细胞抓取的新的末端执行器。在论述中应该能使人了解如夹钳有序是准静态的而在微定位中具有高精度，夹取最大尺寸物体的最大张合量，和其使用的特有的驱动方式，如压电驱动。 压电执行器在各种应用中和在微夹钳中一样被广泛的使用，因为它具有如下优点：驱动力大，位移稳定，高响应速度和易用性。 在本研究中，演示了一种基于柔性铰链的微夹钳的设计、制造和测试。通过有限元分析来研究其几何设计和材料的应力。仿真模型过去常常被用来具体的分析剖面的应力分布和变形。微夹钳的原型通过微电极电火花加工被制造。显微操作测试被认为是压电驱动的在处理微物体方面的潜在应用。 微夹钳的设计和制造 显微操作的方法是一个整体的柔性机构。微夹钳的尺寸规格的设计要求能在微操作中使用，有低廉的成本和在能适应不同的显微操作的需要。微夹钳还需要足够大以便能熟练的控制直径从几微米到几百微米的元件。其设计要求微夹钳尖端能平行的移动以便其保持相对稳定。 柔顺机构仅仅通过变形和利用其柔性铰链，而不是通常的轴承、关节和齿轮。由于不使用寻常的轴承和关节，故而它是一种干净的设备：没润滑油和其他污染物，因此它可以在干净的环境中使用。此设计使用柔性的结构，其运动是其弹性链接伸缩的结果。 微夹钳的柔顺机构被设计成灵活的，其运动转换功能通过柔性元素的弹性变形成为可能。该机械装置被用来放大最初的微小的驱动位移，来得到较大的输出位移。柔顺放大机构结合一块固态的压电陶瓷能给微夹钳带来良好的带宽、应力和行程控制。对于通常的显微操作，可以轻易的控制此微夹钳的尖端的张合。这能轻易控制的微夹钳能在静态或动态环境下很好的抓取不规则的物体。此微夹钳从一个单个的弹簧钢通过微电极电火花机被制造。另一种被使用的材料是铝。选择这些材料是因为它们是普通的工程材料，且容易被电火花机加工。微电极电火花机技术可以使微夹钳具有很好的制造精度。保证尺寸公差为0.5 μm，表面粗糙度为0.1，和使用直径20 μm的金属丝的能力，线切割方法适合微小和高精度的机器。微夹钳的模型为36 mm长，30 mm宽和3 mm厚。 有限元分析 有限元分析是用来研究其柔顺机构。二维和三维元素常常用来对微夹钳装置进行建模和预测其放大率、应力集中情况和微夹钳装置的位移。图2显示了微夹钳的有限元模型。用于微夹钳的由县委分析的材料特性是弹簧钢或铝。如图3所示，绝大部分的应力集中发生在铰链的缺口处。其最大应力为2.1 MPa，它比屈服应力和材料的弹性模量小得多。 夹持装置的样机 制造的微夹钳本身并不是个功能装置。它需要依附在一个固定装置上，将它和执行机构连接，并放置在操作平台上。微夹钳所需