三维微动平台的输入耦合分析[外文翻译].docVIP

三维微动平台的输入耦合分析及最佳设计 摘要 输入耦合法是在精密微动平台设计过程中考虑的重要因素。输入物体间的耦合对运动控制将引起很严重的影响。首先呈现三维微动平台的输入耦合分析法。ANSYS模拟实验数据使此方法生效。然后，讨论机械结构参数对输入耦合法的影响。最后，将分析相对输入耦合法的三个不同联系事件，提出最佳设计方法。数字化结果显示最佳平台的输入耦合将显著减少。本文的研究结果有助于低耦合微动平台的设计。 引言 微动平台对生产光盘、电信系统、光盘刻录机、半导体生产机器的机械和电子产业有决定性影响。大多数微动平台是基于压电陶瓷致动器和顺从机构。顺从机构是具有灵活性的结构，适用于紧密工程领域。该机构通过弹性变形来产生所要的位移动作，而不是通过刚性机构的刚性联动/节点运动。该机构的适用性主要归于顺从机构巨大特性所带来的优势：无需装配，无摩擦/磨损（因此无需润滑）和无间隙。因此，基于此结构的平台能提供超精密定位。 弹性铰链的顺从机构通常采用虚拟刚体结构模型方法来建模。此方法假设弯曲铰链的动作通过扭转弹簧链接而机构较厚部件刚性链接。采用此方法，顺从机构可以通过已完善建立的普通刚性机构理论来分析设计。顺从机构和它的PRBM之间的关系已被广泛研究并有一定的应用公式。PAROS和WEISBORD介绍了圆弧柔性铰链单轴和双联轴的分析方法，使弯曲和轴向负载所产生的旋转和变形想符合。LOBONTIU等制定了确切的对称圆角柔性铰链方程式，并相应地讨论了旋转能力、定位精度和最大压力值。WU和ZHOU也提出了相似的方法。LOBONTIU等对圆锥截面弹性铰链，包括圆形，椭圆形，抛物线形和双曲线概况进行了单独介绍。最近，LOBOTIU和GARCIA提出了几种其它柔性铰链的配置，包括单轴、双轴和多轴兼容机构。 基于伪刚体模型，HER和CHANG提出了用于微动平台位移分析的线性方程。YONG等提出了一个建立于封闭循环理论为基础的方法和PRBM概念的简单线性运动模型方法。LIN等提出了一个通过转化与有限的自由度数系统成一个有限自由度数的集总参数模型的系统柔性铰链微动平台的动态响应法。YANG等设计了应用于激光焊接系统的一个单轴，低调，压电驱动的垂直运动的微定位平台。GAO等设计了一种基于对称性圆弧柔性铰链并具有高分辨率的微动平台。LOBNTIU和GRARCIA开发了一个能使位移放大和刚度优化的柔性顺从机构的分析模型。JOUANEH和YANG提出了柔性铰链型杠杆机构的设计公式，其基于对一般性配置（单轴、平移、柔性铰链型、压电陶瓷、多杆结构）的驱动微动平台的静态分析。 为了降低温度梯度对微动平台的影响，许多微定位平台采用了对称并联式操纵杆机构。RYU等开发了一个在 XYθ方向上带有单片式柔性铰链机构及三压电致动器的微定位平台。在参考文献17中，他提出了逆运动学模型并探究了参考文献16机构设计中的输入电压与输出位移的关系。YI等也研究了相似三自由度并联式微定位机构，其考虑了弯曲和轴向力的影响。这类机构的主要优势是提供了大偏角运动（绕Z轴的角运动），降低了温度梯度为机构的影响。不足之处是耦合铰链提供了一个输入与输出耦合的设置，其将严重影响微动控制的精确度。 本论文中，输入耦合分析法（ICAM）用于设计带有位移放大机构的三自由度微定位平台。我们将建立柔性铰链的刚度矩阵，并基于有限元理论进行输入耦合分析法分析计算。该方法将利用ANSYS有限元软件进行验证和实验分析。我们对该机构的结构参数对输入耦合的影响进行了讨论。最后，对三个相关的不同案例中国的输入耦合进行了分析，并提出了避免输入耦合的最理想设计。 微定位平台 图1显示了一个三自由度微定位平台。这个单片兼容机构由典型柔性铰链构成。这个平台由三个压电致动器驱动。压电致动器间相互成120度角。这种对称性设计能提供产生大偏转运动。从图1中可以了解到在这个整体型机构中有12个圆型单轴柔性铰链。 输入耦合计算 ICAM是基于有限元分析来评估输入耦合。ICAM假设柔性铰链是变截面框架元素并且考虑纵向位移。图2a显示一个圆型单轴柔性铰链运用于兼容机构。图2b显示的是图2a中划虚线的柔性铰链中间部位。机构的执行，正如图1显示，在很大程度上受设计参数的影响。例如，杠杆长度（l）、铰链厚度（t）、铰链半径（R）、铰链宽度（b）等。适当的设计参数能解决最佳设计问题。 ……………… ………… ……………… 5.输入耦合影响的分析 正如我们知道的，输入耦合会引起系统一些控制上的问题。为了得出在系统设计过程中哪个结构参数更至关重要，对输入耦合进行详尽分析是很重要的。对应表2中提供的结构参数，从表3中我们可知平台的输入耦合率接近于0.4。这就意味着压电致动器10微米的位移偏移将对其它两个输入部分引起大约4微米的输入耦合。这个问