三维表面粗糙度测量的关键技术研究-机械设计及理论专业论文.docxVIP

符号表 符号表 第 第 1 章 绪论 IV IV PAGE PAGE 11 符号表 D 评定区域 A 评定区域面积 S 轮廓面积 R3a R3z R3q R3 p R3m R3u K3 p R3h R3s R3k D3 S3 Rms CpK CpH CvK CvH η3 p t3 p rij 算术平均偏差 最大高度 轮廓均方根偏差 轮廓最大峰高 轮廓最大谷深 填平深度 填平系数 表面十点高度 曲面偏斜率 陡峭度 表面峰密度 表面均方根斜率 表面算术平均斜率 表面峰顶总曲率 表面峰顶平均曲率 表面谷底总曲率 表面谷底平均曲率 轮廓支撑面积 轮廓支撑面积率 轮廓测量数据 ? 高度信息 ε 拟合误差平方和 z(x, y) f (x, y) E(x, y) 三维表面函数 最小二乘中位面 粗糙度轮廓面 第1章 绪论 引言 表面粗糙度是指加工表面上具有的较小间距和微小峰谷不平度，其两波峰或 两波谷之间的距离（波距）在1mm以下，如图1-1，它是一种微观形状误差，一 般是由所采用的加工方法或其他外部因素造成，它是评定机械零件表面质量的重 要精度指标之一[1]。它直接影响机器或仪器的使用性能和使用寿命，因此对表面 粗糙度进行精确测量和准确评定至关重要[2]。 峰 实际表面 间距 理想表面 谷 图 1-1 表面粗糙度的放大状况 Fig.1-1 Surface roughness zoom status 从上个世纪二十年代，表面检测技术已经开始被研究。当时在工业应用领 域，人们靠在图样上标注加工条件要求的符号，对表面加工质量进行分类控制。 图样上采用的符号没有参数和数值的定量加工要求，只是一些定性的要求，检测 过程基本上还是依靠人类触觉和视觉来估计和判断，即通过用手触摸或目测试件 与标准样块进行比较，如图 1-2 为粗糙度标准样块，这些原始的测量方法只能对 表面微观不平度做出定性的综合评定。直到触针式测量仪发明才开始对表面粗糙 度进行数量化描述和定量分析评价。 触针式测量[3]自发明以来就一直被使用，但它一直局限于二维测量，目前仍 然被广泛应用于表面粗糙度测量，触针式测量有其难以克服的缺点：测量头一般 采用高硬度的金刚石探针，容易划伤工件表面，因此不易测量高质量和软质表 河南科技大学硕士学位论文 河南科技大学硕士学位论文 第 第 1 章 绪论 PAGE PAGE 10 PAGE PAGE 3 面；为保证测量精度的要求，测头头部要做的非常细小，头部曲率半径必须小于 被测表面微观凹坑半径；为保证测量扫描方向上的精度及分辨率，进给步距很 小，所以测量速度不高。如图 1-3 为触针式测量仪结构示意图。 图 1-2 粗糙度标准样块 Fig.1-2 Roughness standard sample block 立柱 驱动电机 传感器 触针  PC 控制器 丝杠 测量平台 图 1-3 触针式粗糙度测量仪示意图 Fig.1-3 Stylus roughness measuring instrument 触针式测量仪的发明和使用在粗糙度测量史上是一个质的飞跃，它较早期的 触觉和视觉测量实现了粗糙度的定性分析到定量评定的转变，但触针式测量的弊 端也限制了它的进一步发展，目前机械加工行业的发展日新月异，许多机械零部 件行业都向高精密方向发展，这就对零件表面质量提出越来越高的要求，传统的 触针法测量已经不能满足某些测量需要，并且传统的触针测量仪的二维参数评定 也无法满足一些产品质量评定的要求。 传统的粗糙度二维评定采用一条轮廓中线作为评定基准，借助评定参数：轮 廓算术平均偏差Ra、微光不平度十点高度Rz、轮廓最大高度Ry、轮廓微观不平 度的平均间距Sm、轮廓的单峰平均间距S、轮廓支承长度率tp等六个参数对表面 质量进行评定[4]。 触针法的触针在粗糙度轮廓表面以一定速度沿某一方向（x向）移动，由于 表面的微观不平度导致触针上下运动（z向），从而描绘出表面上被测轮廓线的 连续几何形状，轮廓几何信息经滤波，A/D转换，放大后得到x、z两个方向的二 维数值，经计算获得二维粗糙度参数值，这是粗糙度的二维评定。三维表面粗糙 度[5]的“三维”是指在传统的二维轮廓测量评定的基础上再加上一维（y向）的 整个微观表面的评定，如图1-4，它可以获得被测表面一定区域内各点的x、y、z 三个方向的坐标值，从而进行三维参数[6]的计算和三维形貌的表征[7]。 z y向 y x 图 1-4 三维表面粗糙度 Fig.1-4 3D surface roughness 20 世纪 50 年代，光学技术[8,11]被引入表面形貌测量，从而实现了表面形貌 从接触式测量向非接触式测量[12-15]的转变。非接触式测量克服了接触式的诸多 缺点，逐渐成为近年来表面测量技术研究的热