射频声表面波梯形滤波器的研制-材料科学与工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 摘要 摘 要 声表面波梯形滤波器具有插入损耗低、不需要外电路匹配、结构简单、体积 小等优点，广泛地应用于电视、基站通信、卫星通讯等接收和发射系统中。但是 国内有关于声表面波梯形滤波器的模拟、仿真等方面的研究还不是很多。 论文详细研究了三个方向的内容：声表面波梯形滤波器的基本结构单元—— 单端谐振器的设计原理、制作工艺；声表面波梯形滤波器仿真程序的编写、参数 的优化；降低声表面波梯形滤波器的通带波纹，达到级间匹配研究，以及减小通 带带宽、提高滤波器矩形度的研究。 本文利用耦合模型理论先对单端谐振器分析，通过理论论述了基片材料的选 择，声表面波瑞利波和漏波模式表面波的传播特性，叉指换能器(IDT)的设计，反 射栅的设计，将这些参数所涉及到的数学表达公式写入Matlab文件，得到一个仿真 程序，通过优化参数，得到满足指标的单端谐振器。最终通过实验得到了在LiTaO3 基片上，中心频率分别为406MHz和500MHz的两种不同声波模式下的单端谐振器。 接下来对声表面波梯形滤波器进行分析，并对梯形滤波器的串联臂谐振器和 并联臂谐振器进行了理论模拟。利用Matlab编程，设计出一个梯形滤波器仿真软件 包，可以方便快速地给出单个串联臂谐振器和单个并联臂谐振器的频响公式，以 及梯形滤波器的频响公式。比较了各个参数对器件性能的影响，通过优化参数， 制作得到中心频率为500MHz，插入损耗为3.7dB，带宽为25MHz，矩形系数为1.8 的6级常规声表面波梯形滤波器。 通过分析得到6阶常规梯形滤波器的频率响应通带低端下陷是因为级间的不 匹配造成，根据双端口器件的匹配原理，在梯形滤波器级间加入匹配单元制作得 到的匹配结构梯形滤波器，与常规的梯形滤波器相比较，通带波纹达到了1dB以下。 在6阶常规梯形滤波器的基础上，通过加入额外的单端谐振器，并调整这个单 端谐振器的结构，使得梯形滤波器的过渡带宽上产生了两个额外的传输零点，设 计出矩形系数达到1.2，带宽为15MHz的窄带梯形滤波器。 关键词：声表面梯形滤波器，单端谐振器，耦合模模型，匹配结构，高矩形度 I Abstract ABSTRACT Surface Acoustic Wave(SAW) Ladder-type Filter is widely used in mobile communications, satellite communications, radio frequency identification system receiver and transmitter, because of its low insertion loss, simple structure, small size, light weight and without matching circuit. In this paper, using the Coupling-of-Modes model(COM) analyze the Ladder-type Filter’s element—SAW Resonator. The theory discuss the choice of substrate materials, the characteristics SAW Rayleigh mode and leaky wave mode, inter-digital transducer (IDT) designs, reflective grating design, and write these parameters to the Matlab files, after that, a variety of different types of simulation procedure for single resonator can be used to optimize these parameters to met the targets. In the help of the microelectronic planar processing, finally in the substrate of LiTaO3, we get two different modes of single resonators, with the center frequency of 406MHz and 500MHz respectively. In the next, analyze the theoretical simulation of the SAW Ladder-type filter, and the filter’s series arm resonator and