半导体设备行业深度报告：2020，中国半导体设备的转机之年.docxVIP

正文目录 2019 年第四季度或是半导体设备产业恢复高增长的向上拐点 4 5G 产业浪潮驱动，全球半导体设备市场出现改善迹象 4 逆周期投资强化中国设备市场韧性，本土企业收入及订单向上拐点到来 7 国内设备产业体系形成，优势企业初步具备进口替代能力 10 中微公司：CCP 刻蚀机优势持续强化，ICP 刻蚀机实现量产突破 11 北方华创：半导体设备布局渐趋完备，打造“平台型”产品体系 15 长川科技：探针台、数字测试机新品蓄力，有望实现测试设备全品类布局 16 晶盛机电：半导体单晶炉批量化销售，向硅片后道加工设备不断延展 19 国产设备崛起还面临哪些问题？研发投入、税收压力、激励机制 21 投资建议 24 风险提示 26 附录：中国半导体设备非上市公司梳理 27 上海微电子：光刻机国产化中坚力量，满足 90nm 制程工艺需求 27 沈阳拓荆：PECVD 设备技术实力领先，成功研发 ALD 设备 28 中科仪：布局真空获得设备与 PVD、CVD 设备 29 盛美半导体：全球化发展布局，清洗设备进入国内外主流晶圆厂 31 华海清科：12 寸 CMP 设备先后进入中芯国际、上海华力 32 南京晶升能源：12 寸单晶炉进入国内硅片领先企业 33 图表目录 图表 1： 2005~2018 年全球 GDP 与半导体及设备市场规模增速比较 4 图表 2： 全球半导体市场月度销售额及增速 4 图表 3： 中国半导体市场月度销售额及增速 4 图表 4： 台积电、中芯国际资本支出及增速 6 图表 5： 北美半导体设备制造商月度出货金额及增速 6 图表 6： 应用材料、泛林半导体单季度收入及同比增速 6 图表 7： 中国大陆晶圆厂分布及建设规划 7 图表 8： 2005~2020 年全球半导体设备销售额的地区分布及预测 8 图表 9： 全球主流晶圆厂的技术迭代进程 8 图表 10： 中国国产半导体设备销售额及增速 9 图表 11： 北方华创、长川科技单季度收入及增速 9 图表 12： 2005~2020 年全球、中国半导体设备销售规模及预测 9 图表 13： 中国半导体设备代表企业的产品布局 10 图表 14： 中微公司半导体刻蚀设备产品一览 11 图表 15： 中微公司设立以来主要产品的演变情况 12 图表 16： 公司电容性等离子体刻蚀设备（CCP）核心技术 12 图表 17： 公司电感性等离子体刻蚀设备（ICP）核心技术 13 图表 18： 2017 年全球刻蚀设备市场份额分布情况 13 图表 19： 国内知名存储芯片制造企业 A 近期刻蚀设备份额（台数占比） 14 图表 20： 国内知名存储芯片制造企业 B 近期刻蚀设备份额（台数占比） 14 图表 21： 公司电容性等离子体刻蚀设备（CCP）主要研发项目 14 图表 22： 公司电感性等离子体刻蚀设备（ICP）主要研发项目 14 图表 23： 北方华创主要产品布局一览 15 图表 24： 北方华创半导体设备领域细分产品一览 15 图表 25： 半导体测试流程及长川科技目前覆盖的设备 16 图表 26： 各主流测试设备公司产品情况一览 17 图表 27： STI 主要产品一览 18 图表 28： 晶盛机电主要产品布局一览 19 图表 29： 晶盛机电半导体领域新产品一览 20 图表 30： 国内外半导体设备代表公司的研发支出/营业收入对比 21 图表 31： 国内外半导体设备代表公司的研发支出对比 21 图表 32： 集成电路生产企业税收优惠政策梳理 22 图表 33： 国内半导体设备公司的实际税率（所得税/利润总额） 22 图表 34： 国内半导体设备公司的研发人员数量及占比 23 图表 35： 2018 年国内半导体设备公司的人均情况（单位：万元） 23 图表 36： 半导体设备国内核心公司估值及盈利预测 25 图表 37： 半导体设备海外核心公司估值及盈利预测 25 图表 38： 海外半导体设备企业 1987~2019 年 PE-TTM 25 图表 39： 海外半导体设备企业 1987~2019 年 PS-TTM 25 图表 40： 上海微电子发展历程 27 图表 41： 上海微电子半导体设备产品布局一览 27 图表 42： 上海微电子 SSX600 系列光刻机主要产品型号及参数 28 图表 43： 沈阳拓荆发展历程 28 图表 44： 沈阳拓荆半导体设备产品布局一览 29 图表 45： 沈阳拓荆合作伙伴布局 29 图表 46： 沈阳科仪发展历程 30 图表 47： 中科仪半导体设备产品布局一览 30 图表 48： 盛美半导体发展历程 31 图表 49： 盛美半导体半导体设备产品布局一览 31 图表 50： 华海清科主要