传感器原理与传感器技术第4章　电容式传感器.pptVIP

4.1　电容式传感器的工作原理 图4-2　电容式传感器的等效电路 4.2　电容式传感器的类型及特性 4.2.1　变极距型电容式传感器4.2.2　变面积型电容式传感器4.2.3　变介质型电容式传感器 4.2　电容式传感器的类型及特性 表4-1　电容式传感器的结构形式 单　片　型 单　组　式 差　动　式 变极距型 线位移 平板形   角位移   4.2　电容式传感器的类型及特性 表4-1　电容式传感器的结构形式 单　片　型 单　组　式 差　动　式 变面积型 线位移 平板形   圆柱形   角位移 平板形   圆柱形   变介质型 线位移 平板形   圆柱形   4.2.1　变极距型电容式传感器 图4-3　电容传感器的特性曲线 4.2.1　变极距型电容式传感器 图4-4　放置云母片的电容器 4.2.1　变极距型电容式传感器 图4-5　差动平板式电容传感器的结构图 4.2.2　变面积型电容式传感器 1.线位移式变面积型2.角位移式变面积型 1.线位移式变面积型 图4-6　变面积型电容传感器原理图a)动极板移动　b)中间极板移动 2.角位移式变面积型 图4-7　电容式角位移传感器的原理图 4.2.3　变介质型电容式传感器 图4-8　线位移式变介质电容传感器的结构图 4.3　电容式传感器的转换电路 4.3.1　调频转换电路4.3.2　运算放大器式电路