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富创精密成立于 2008 年,专注于金属材料零部件精密制造技术,掌握了可满足严苛标准的精密机械制造、高洁净度表面处理、焊接、组装、检测等一站式制造工艺,通过向国内外半导体设备龙头企业批量供货,建立了一系列制造标准流程和质量管理体系,产品的高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能达到国际水平。
图表 1. 公司具备 14 年发展历史
富创精密
公司于 2011 年、2014 年相继承担国家“02 重大专项”之“IC 设备关键零部件集成制造技术与加工平台”项目、“基于焊接和表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发”项目,并顺利通过验收。
图表 2. 公司三大发展阶段技术持续升级
富创精密
富创精密拥有经验丰富、管理专业以及技术优秀的团队。团队核心人物具有 20 年以上的行业经验与中国半导体设备零部件行业一同成长。公司精密机械制造方向、表面处理方向、焊接方向有数个专家,团队履历丰富。通过自研和承接专项,公司实现半导体设备部分精密零部件国产化的自主可控,攻克零部件精密制造的特种工艺,形成了国产半导体设备的保障能力。
图表 3. 富创精密核心管理、技术团队
富创精密
公司董监高及核心技术人员合计持股 30.76%。公司前三大股东分别为沈阳先进制造技术产业有限公司、宁波祥浦创业投资合伙企业、国投(上海)科技成果转化创业投资基金,前三大股东攻占 63%左右的股份。其中董事长郑广文直接或间接持有沈阳先进制造产业有限公司股权比例 94.86%,叠加自身持有富创精密股权比例 6.38%,郑广文合计持有公司约 30.15%股权,其他公司董监高及核心技术人员合计持股 0.61%。
图表 4.管理及核心技术团队持股 30.76%
富创精密
公司股权激励方案有利于管理团队和人才队伍稳定。2017 年 12 月,富创有限股东会同意实施员工股权激励方案;2018 年 1 月,三家员工持股平台宁波芯富、宁波芯芯、宁波良芯成立;2018 年 12月,三家员工持股平台增资入股富创有限,至今合计持股 5.09%。公司的员工持股平台均由实际控制人郑广文作为唯一执行事务合伙人,增强了其对公司的实际控制。
图表 5. 公司三大员工持股平台合计持有 5.09%
富创精密
四大主营产品:可覆盖大部分制程设备
公司专注于金属材料零部件精密制造技术
公司掌握了可满足严苛标准的精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接、组装、检测等多种制造工艺,主要产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类,应用于半导体设备、泛半导体设备及其他领域。
图表 6. 公司四大产品在刻蚀设备的应用
富创精密
工艺零部件:主要是半导体设备中晶圆制备工艺的关键零部件,少量应用于泛半导体设备及其他领域。该类产品一般需要经过高精密机械制造和复杂的表面处理特种工艺过程,具备高精 密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特点。工艺零部件一般用于刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入设备和化学机械抛光设备等。公司代表性工艺零部件包括腔体(按使用功能分为过渡腔、传输腔和反应腔)、内衬和匀气盘。
富创精密
结构零部件:应用于半导体设备、面板及光伏等泛半导体设备和其他领域中, 一般起连接、支撑和冷却等作用,对平面度和平行度有较高的要求,部分结构零部件同样需要具备高洁 净、强耐腐蚀能力和耐击穿电压等性能。
富创精密
模组产品:工艺零部件、结构零部件等自制零部件与外购的电子标准件和机械标准件等经过组装、测试等环节,可以制成具有特定功能的模组产品,主要应用于半导体设备。
图表 9. 公司模组的具体产品
富创精密
富创精密
气体管路产品:主要应用于半导体设备中的特殊工艺气体传送,是连接气源到反应腔的传输管道。由于晶圆加工过程中的气体具有纯度高、腐蚀性强、易燃易爆及毒性的特点,因此对管路的密封性、洁净度及耐腐蚀能力有较高要求。
富创精密
公司主要产品应用于半导体设备领域,覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节设备,部分产品已应用于 7 纳米制程的前道设备中。
图表 11. 产品可应用大部分制程设备
富创精密
收入结构:结构零部件占比较大
公司有四个主要产品类别分别是工艺零部件、结构零部件、气体管路、模组产品。其中结构零部件占比较多,2019 年到 2021 年,结构零部件占富创精密收入达 47.46%、41.61%、42.44%,基本处于 43%左右。
技术要求最高的工艺零部件主营业务收入占比较低,主要因为工艺零部件工艺制程复杂、技术要求高、客户验证周期长,客户选择或替代其他供应商更为谨慎。
结构零部件工艺制程相对简单,技术要求低于工艺零部件,且公司与客户的合作往往从结构零部件开始,然后向性能更高的工艺零部件延伸,从而结构零部件放量更快
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