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单晶si片表面naoh异丙醇体系制绒工艺研究 1 太阳能电池绒面的制备 如今，可支配能源在社会中的重要性变得越来越明显。在各种各样的可再生能源中, 太阳能是取之不尽、没有污染的绿色能源。对于光伏产业, 高效率和低成本永远是不变的追求。太阳能电池根据所用材料的不同, 可分为:硅太阳能电池、多元化合物薄膜太阳能电池、聚合物多层修饰电极型太阳能电池、纳米晶太阳能电池、有机太阳能电池 单晶Si绒面是利用碱性溶液的各向异性腐蚀, 在单晶Si的 (100) 面腐蚀出类似金字塔结构的绒面, 入射光会在绒面上两次或两次以上的反射, 使得光的吸收增强, 绒面起到了陷光的作用, 有较多的光子在p-n结附近产生光生载流子, 从而增加了光生载流子的收集几率;另外同样尺寸的基片, 绒面电池的p-n结面积较大, 可以提高短路电流, 从而提高了太阳电池的转换效率, 且有利于后续的制作工艺, 但太阳电池的表面织构化也会提高光生载流子的表面复合速率, 所以太阳电池绒面一直以来都是研究的热点。 目前的单晶Si制绒工艺普遍使用的是NaOH/异丙醇 (IPA) 体系 2 实验 2.1 单晶si面为等向异性的腐蚀法 Si表面悬挂键数量与晶体取向有关: (100) 面有两个悬挂键, (111) 面仅有一个悬挂键, 对于 (110) 面, 虽然也只有一个悬挂键, 但背键比较复杂 虽然单晶Si的各向异性腐蚀比较复杂, 至今没有被完全认识清楚, 但是有两点被人们广泛接受 (b) 腐蚀的固有步骤: (1) 反应物分子通过界面扩散到Si表面; (2) Si表面对反应物分子进行吸附; (3) 在Si表面发生反应; (4) 反应产物和副产物通过界面扩散进入电解液中。 2.2 表面腐蚀对产品的腐蚀 实验使用的Si片是 (100) 晶向的单晶Si片, 大小为125mm×125mm, 电阻率为2~4Ψ·cm。用激光刻槽机将单晶Si片划成同样大小的4份, 每次实验取其中1份作为样品。如图1, 在恒温水浴箱的控制面板上设定好温度, 在烧杯中配好腐蚀溶液, 放入水浴箱的水中, 待水浴箱中水温升高到设定温度时, 将一小片Si片垂直放入烧杯中, 没入腐蚀溶液中。所取烧杯的容积为250mL, 小Si片放入其中, 保持直立, 不会倾倒。 首先采用传统的RCA清洗法对原始Si片表面进行清洗, 去除Si片表面的颗粒, 有机物和金属等玷污, 对未清洗的Si片表面与经过RCA清洗的Si片表面经制绒后进行对比。原始Si片在切割的时候会产生机械损伤, 去损伤层所用的腐蚀剂通常有两种, 一种为NaOH溶液, 一种为HF/HNO 用传统的NaOH/异丙醇 (IPA) 体系在硅表面进行腐蚀, 传统的腐蚀液中碱的浓度为1.5%~2% (质量分数, 下同) , 反应时间较长, 为缩短反应时间, 本文实验都在2.5%NaOH的腐蚀液中进行。改变腐蚀液的温度, 时间和异丙醇的浓度, 在15min内制备金字塔绒面结构, 通过扫描电子显微镜 (SEM) 观测不同条件下所得绒面的形貌并测量其表面反射率。 最后用表面活性剂CHX和十二烷基苯磺酸钠代替异丙醇, 加入到NaOH溶液中, 在硅表面腐蚀出金字塔绒面, 用SEM观察绒面的形貌。 3 结果与讨论 3.1 si片表面的表面制备 本实验对未清洗的和经过RCA清洗的Si片经制绒后的表面进行了对比, 经测定, 清洗后的Si片的绒面比未清洗的更均匀, 反射率也低3个百分点左右, 说明清洗工艺对制绒有较好的效果。清洗使得Si片表面的颗粒、有机物、金属等杂质大量减少, 更有利于理想绒面的生成 去除Si片表面损伤时, 用酸和碱溶液分别实验。HF/HNO 文献[13]介绍, 去损伤层后再用传统的方法制绒, 绒面将更均匀。但经过多次实验对比, 与其他文献结果不同的是, 粗抛后的Si片在较短的时间内形成的绒面形貌较差。一般认为, 反应起始于晶体硅表面缺陷和杂质处, 而粗抛使得Si片表面变得平整, 表面的损伤较少, 绒面难以均匀覆盖表面。且所需腐蚀时间较长, 短时间内不能形成理想绒面。另外, 制绒前加上去损伤的工艺, 易引入杂质, 对后面的制绒也会有所影响, 所以实验操作需比较严谨。 3.2 naoh/异丙醇体系 理想的绒面是表面均匀, 有较低的反射率, 而且有益于后续工艺的完成, 在短时间内形成理想绒面需提高腐蚀速率, 腐蚀速率取决于Si片被腐蚀前的表面状态, 制绒液的组成, 各组分的含量, 温度等 当前工业上应用的制绒液体系主要为NaOH/异丙醇 (IPA) 体系, 添加有表面润滑作用的IPA用以降低氢气在Si片表面的吸附能力。也可以采用其它的有表面润滑作用的物质代替IPA。 3.2.1 表面的影响 实验中, 加入不同量的IPA, 其效果也不同。用6gNaOH+250mLH 实验中, 不加入IP