PVA-PF复合凝胶磨具精密磨削碳化硅陶瓷工艺实验研究.docxVIP

? ? PVA/PF复合凝胶磨具精密磨削碳化硅陶瓷工艺实验研究 ? ? 冯凯萍，吕冰海，朱国旗，赵天晨，周兆忠 PVA/PF复合凝胶磨具精密磨削碳化硅陶瓷工艺实验研究 冯凯萍1,2，吕冰海2，朱国旗3，赵天晨1，周兆忠1 （1.衢州学院 机械工程学院，浙江 衢州 324000；2.浙江工业大学 机械工程学院，杭州 310014；3.浙江大学 机械工程学院，杭州 310012） 针对传统粉末热压成形细粒度金刚石磨具存在颗粒团聚、磨削碳化硅陶瓷容易在表面产生较深划痕的问题，提出一种基于冷冻-解冻凝胶成形的细粒度金刚石磨具，用于精密磨削碳化硅陶瓷，并研究其加工工艺。制备聚乙烯醇-酚醛树脂复合凝胶胶水，将金刚石和填料在凝胶胶水中剪切分散，得到的浆料浇筑在模具中，在–20 ℃低温条件下反复冷冻，形成胶体，再经干燥、烧结，得到粒度为2.5 μm的细粒度金刚石磨削磨具。采用制备的金刚石凝胶磨具磨削碳化硅平面反射镜，对比不同磨具转速、进给速度、磨削深度工艺条件下的表面磨削质量。在低温条件下，聚乙烯醇-酚醛树脂分子链发生了物理交联，形成凝胶体，凝胶结合剂结合强度高，且分布均匀，所制备的凝胶磨具强度高于热压磨具，该方法可以解决传统粉料压制成形方法容易出现物相团聚、微观结构不一致的问题。磨削结果显示，当磨削进给速度为0.008 mm/min、磨具转速为1450 r/min、磨削深度为0.016 mm、转台转速为60 r/min时，获得了表面粗糙度低于3.5 nm的镜面磨削效果，表面质量好于热压磨具磨削效果，3个100 mm区域平面度PV值均小于0.5 μm。采用聚乙烯醇-酚醛树脂复合凝胶成功制备了细粒度金刚石磨削磨具，通过优化磨削工艺参数，为碳化硅平面反射镜镜面加工提供了一种新的加工工艺。 凝胶磨具；碳化硅陶瓷；精密磨削；表面质量；超细金刚石；磨损 碳化硅陶瓷具有高的弹性模量、热稳定性、比刚度、导热系数和低的热膨胀系数，适用于制造精密结构件，目前已经广泛应用于航空航天、精细化工、精密仪器、微电子工业等领域[1-2]。作为精密结构件，要求具有超光滑、超平坦、无损伤表面，加工质量直接决定着碳化硅陶瓷应用价值的高低和器件性能的优劣[3]。硬脆材料CMP抛光方法是一种常用的抛光方法。吉林大学刘思明[4]采用二氧化硅抛光液和聚氨酯抛光垫获得了表面粗糙度≤17 nm的表面质量。Gao等[5]在CMP抛光的基础上，开发了光催化辅助化学机械抛光（PCMP），PS/CeO2-TiO2磨料在紫外光照射下获得了最佳的抛光性能（=0.497 nm）。由于SiC键长短，键能强，是一种高硬度和脆性的共价键化合物，CMP抛光加工难度大、效率低。为了实现SiC陶瓷表面高效加工，Gu等[6]采用振动辅助抛光，但表面粗糙度只能达到47 nm。此外，Yi等[7]采用应力盘抛光非球面碳化硅反射镜。Zheng等[8]提出了一种水下飞秒激光抛光SiC陶瓷的新方法，此类方法存在加工成本高的问题。有学者[9]提出了超精密磨削碳化硅陶瓷材料。Wu等[10]认为，磨削加工已成为处理硬脆工程陶瓷加工缺陷和改善表面完整性最有效的精密加工方法之一。Dai等[11]在不同最大未变形切屑厚度的SiC上进行了单颗金刚石磨粒实验，随着切屑厚度的减小，材料去除由脆性去除向韧性去除转变。Zhang和Li等[12-13]以RB-SiC纳米压痕实验结果为基础，建立了超精密磨削过程表面粗糙度预测的理论模型。Feng等[14]分别采用120#、600#、2000#和12000#金刚石杯形砂轮对碳化硅陶瓷进行粗磨、半精磨、精磨和超精磨，获得了纳米级加工表面质量。 超细金刚石微粉是硬脆材料超精密磨削的理想磨料，具有比表面积大、表面能高、体系热力学不稳定的特点[15]。传统的磨具制作方法为粉料混合→过筛→干燥→压制→烧结[16]，容易出现物相团聚、形成较大尺寸的二次颗粒、显微硬度不一致的问题，这导致在精密磨削过程中对工件表面产生划痕，影响工件表面质量[17]。因此，如何减少磨具内部缺陷，保证内部组织均匀性，是制造超精密磨削磨具的关键[18]。虽然超细金刚石与粉状结合剂的相容性不佳，很难干法混合均匀，制成精密磨削工具，但能在液体中湿法混合，通过添加分散剂、润湿剂，改变颗粒表面结构，得到分散均匀浆料，用于制造超细金刚石工具。陆静等[19]利用海藻酸钠的溶胶凝胶特性制备了W5金刚石凝胶磨具，加工硅片和大理石等硬脆材料，获得了纳米级无损伤加工表面。张俊等[20]将木质素、糠醇与乙二醛在酸性条件下凝胶反应，制备出了具有较高硬度及切割强度的砂轮片。Wu等[21]开发了基于“混料-凝胶化-冷藏-干燥”工艺路线的预糊化多糖结合剂磨具，利用软质SiO2磨粒和蓝宝石摩擦产生的固相反应，实现低损伤表面抛光。Yu等[22]将金刚石凝胶体镶嵌在环氧