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光学与光电系统成像性能评测瑞利(Rayleigh)判据:当两衍射中心距正好等于第一暗环的半径时,人眼刚能分辨开这两个像点。道斯(Dawss)判据:斯派罗(Sparrow)判据:(3-11)(3-12)(3-10)光学与光电系统成像性能评测S1S2S1S2S1S2100%73.6%可分辨恰可分辨不可分辨图3-9瑞利(Rayleigh)判据描述图光学与光电系统成像性能评测图3-10三种判据的部分合光强分布曲线图斯派罗(SPARROW)光学与光电系统成像性能评测图3-11瑞利、道斯和斯派罗判据的三维合成辐照度分布图光学与光电系统成像性能评测★望远物镜:★照相物镜:★显微物镜:(3-13)(3-14)(3-15)表3-1三类光学系统的理论分辨率光学与光电系统成像性能评测以上讨论的各类光学系统的分辨率公式只适用于视场中心的情况。对望远系统和显微系统而言,由于视场很小,因此只需考虑视场中心的分辨率。但对照相系统而言,由于视场通常较大,除考察视场中心的分辨率外还应考察中心视场以外的分辨率。图3-12轴外点理论分辨率与轴上点理论分辨率的关系光学与光电系统成像性能评测在斜光束成像情况下,理论分辨率的计算公式将与轴上分辨率公式有所不同。如图3-12所示,为斜光束成像时物镜出瞳处的子午波面,它在OC’方向上成一理想像点C’。M’为过C’点垂直于主光线OC’的线段上的一点,而且C’M’就等于斜光束成像情况下中央亮斑的半径,即:(3-16)照相物镜轴外点子午和弧矢方向的理论分辨率为:(3-17)(3-18)可看出,理论分辨率随视场增大而下降,而且子午方向的分辨率比弧矢方向的分辨率下降得更快。光学与光电系统成像性能评测2)分辨率测量方法★分辨率图案直接用人工方法获取两个相互非常靠近的非相干点光源作为检验光学系统分辨率的目标物是比较困难的,实际中常采用由不同粗细的黑白条纹组成的人工特制图案作为目标物来检验光学系统的分辨率。由于各类光学系统的用途不同、工作条件不同、要求不同,所以设计制作的分辨率图案在形式上也很不一样。图3-13为两种较为典型的常用分辨率图案。下面以ZBN35003-89国家专业标准分辨率图案为例,介绍其设计计算方法。该分辨率图案中的单元线条设计如图3-14所示。光学与光电系统成像性能评测图3-13两种分辨率图案
左:国家专业标准分辨率图案右:辐射式分辨率图案光学与光电系统成像性能评测(1)线条宽度黑(白)线条的宽度P按等比级数规律依次递减。(3-19)式中(A1号板第1单元线宽),,。实际图案上的线条宽度按式(3-19)计算后只保留三位有效数字。图3-14单元线条几何参数光学与光电系统成像性能评测线条宽度(/分辨率板号A1A2A3A4A5A6A7单元号单元中每组明暗线条总数线条宽度(u/mm)1716080.040.020.010.07.505.002715175.537.818.99.447.084.723714371.335.617.88.916.684.454713567.333.616.88.416.314.205912763.531.715.97.945.953.976912059.930.015.07.495.623.757911356.628.314.17.075.303.5481110753.426.713.36.675.013.3491110150.425.212.66.304.723.15101195.147.623.811.95.954.462.97111389.844.922.411.25.614.212.81121384.842.421.2
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