第3章电容传感器.pptVIP

电容式传感器驱动电缆法驱动电缆采用双层屏蔽电缆。其中用一个增益为1的放大器，放大器输入端接于芯线，输出端接于内屏蔽线，用芯线的电位来驱动内屏蔽线的电位。当放大器严格保持增益为1和相移为零时，内屏蔽线和芯线等电位，可以免除芯线和内屏蔽线之间的容性漏电流，从而消除了两者之间寄生电容的影响。第29页，共46页，星期日，2025年，2月5日电容式传感器整体屏蔽法所谓整体屏蔽是将整个电桥(包括电源、电缆等)统一屏蔽起来；如图所示，公用极板与屏蔽之间的寄生电容C1只影响灵敏度，另外两个寄生电容C3及C4在一定程度上影响电桥的初始平衡及总体灵敏度，但不影响电桥正常工作，寄生电容对传感器的电容的影响基本得到排除。第30页，共46页，星期日，2025年，2月5日电容式传感器6.5电容式传感器的应用差动电容式压力传感器第31页，共46页，星期日，2025年，2月5日电容式传感器6.5电容式传感器的应用电容式加速度传感器差动式电容加速度传感器结构图第32页，共46页，星期日，2025年，2月5日6.5电容式传感器的应用电容式加速度传感器当传感器壳体随被测对象沿垂直方向作直线加速运动时，质量块在惯性空间中相对静止，两个固定电极将相对于质量块在垂直方向产生大小正比于被测加速度的位移。此位移使两电容的间隙发生变化，一个增加，一个减小，从而使C1、C2产生大小相等、符号相反的增量，此增量正比于被测加速度。电容式加速度传感器的主要特点是频率响应快和量程范围大，大多采用空气或其它气体作阻尼物质。第33页，共46页，星期日，2025年，2月5日第1页，共46页，星期日，2025年，2月5日第2页，共46页，星期日，2025年，2月5日两点注意：1.工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏了电容的正常作用。因此，工作频率应该先择低于谐振频率。2.电容式传感器的有效电容除与位移有关外，还与角频率有关。因此，在实际应用时必须与标定的条件（ω）相同。电容的实际相对变化量为：第3页，共46页，星期日，2025年，2月5日电容传感器的特点：电容量小，变化更小（PF级）。理论上，交流电桥可作为电容传感器的测量电路，但由于电容及变化太小，不易实现。电桥电路调频电路谐振电路运算放大器式电路脉冲宽度调制电路第4页，共46页，星期日，2025年，2月5日电桥型电路UCr1C（a）RRU0（c）UCr1Cr2U0LLCr1（b）CU0UCCr2第5页，共46页，星期日，2025年，2月5日电桥型电路另两个臂是紧耦合电感臂的电桥具有较高的灵敏度和稳定性，且寄生电容影响极小、大大简化了电桥的屏蔽和接地，适合于高频电源下工作。Cr1Cr2U0U（d）变压器电桥使用元件最少，桥路内阻最小，因此目前较多采用。第6页，共46页，星期日，2025年，2月5日电桥型电路电桥的输出为一调幅波，经放大、相敏解调、滤波后获得输出。第7页，共46页，星期日，2025年，2月5日调频电路传感器电容是振荡器谐振回路的一部分。当输入量使传感器电容量发生变化时，振荡器的振荡频率发生变化。频率的变化经过鉴频器变为电压变化，再经过放大后由记录器记录或显示仪表指示。第8页，共46页，星期日，2025年，2月5日式中：C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+Cx，其中C1为振荡回路固有电容，C2为传感器引线分布电容，Cx=C0±ΔC为传感器的电容。当被测信号为0时，ΔC=0，则C=C1+C2+C0，所以振荡器有一个固有频率f0,其表示式为第9页，共46页，星期日，2025年，2月5日当被测信号不为0时，ΔC≠0，振荡器频率有相应变化，此时频率为调频电容传感器测量电路具有较高的灵敏度，可以测量高至0.01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强，可以发送、接收，以达到遥测遥控的目的。第10页，共46页，星期日，2025年，2月5日调频电容传感器第11页，共46页，星期日，2025年，2月5日谐振电路特点：电路比较灵敏；工作点不易选好，且变化范围窄；连接电缆杂散电容对电路的影响大；为提高测量精度，振荡器的频率要求具有很高的稳定性电容传感器的电容Cx作为谐振电路(或)调谐电容的一部分。此谐振回路通过电感耦合，从稳定的高频振荡器获得振荡电压。当传感器的电容Cx发生变化，谐振回路的阻抗也发生相应变化，并被转换成整流器电流的变化。该电流经过放大、检波即可得到输出。为了获