原创力文档化学机械抛光液
原料配比
表1抛光液
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
6#
7#
球形纳米介孔SiO2粉体，平均粒径为70nm
30
－
－
30
－
－
－
球形纳米介孔SiO2粉体，平均粒径为40nm
－
－
－
－
30
30
－
球形纳米介孔SiO2粉体，平均粒径为60nm
－
－
－
－
－
－
20
粒径为30nm的介孔SiO2粉体
－
10
－
－
－
－
－
粒径为120nm的介孔SiO2粉体
－
－
10
－
－
－
－
分散稳定剂聚乙烯醇
－
1
－
－
－
－
－
1,2-丙二醇表面处理剂
0.8
－
10
5
0.8
－
0.5
分散稳定剂聚
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