纳米二氧化硅磨料抛光液.doc

纳米二氧化硅磨料抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

30nm水溶性二氧化硅溶胶

25

80nm气相二氧化硅粉末

15

月桂酰单乙醇胺

0.3

有机碱

1

去离子水

58.7

制备方法先将气相二氧化硅粉末均匀溶解于去离子水中，然后在千级净化室的环境内，常温条件下，在0.1MPa真空负压动力下，通过质量流量计将气相二氧化硅粉末水溶液输入容器罐中，与预先放置在容器罐中的水溶性二氧化硅溶胶混合并充分搅拌，待混合均匀后将月桂酰单乙醇胺和有机碱加入容器罐中并继续充分搅拌，混合均匀即成为本品抛光液成品。

原料配伍本品各组分质量份配比范围为：磨料I10~40、磨料II5~20、表面活性剂0.0