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锑化铟材料表面化学机械抛光液.doc

锑化铟材料表面化学机械抛光液.doc

    锑化铟材料表面化学机械抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    18MΩ的超纯水

    2000

    2000

    2000

    2000

    羟乙基乙二胺

    400

    －

    －

    280

    三乙醇胺

    －

    120

    －

    －

    四甲氢氧化铵

    －

    －

    200

    －

    FA/O活性剂

    200

    －

    －

    －

    Oπ-7

    －

    20

    －

    －

    O-20

    －

    －

    80

    －

    JFC

    －

    －

    －

    140

    FA/O螯合剂

    200

    4

    72

    132

    粒径为15~25nm纳米SiO2溶胶

    3200

    3856

    3648

    3448

    制备方法

    （1）使用电阻为18MΩ以上的超纯水对透明密闭反应釜及进料管道进行清洗，使清洗后废液的电阻不低于

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