CN117368123A 一种悬臂梁式气体传感器的制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117368123A(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202311132287.9

(22)申请日2023.09.04

(71)申请人南京邮电大学

地址210023江苏省南京市栖霞区文苑路9

号

(72)发明人秦兴才光金凤梁银学汪联辉

(74)专利代理机构南京苏科专利代理有限责任公司32102

专利代理师姚姣阳

(51)Int.CI.

GO1N21/27(2006.01)

GO1N21/01(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图5页

(54)发明名称

一种悬臂梁式气体传感器的制作方法

(57)摘要

CN117368123A本发明提供了一种悬臂梁式气体传感器的制作方法。悬臂梁芯片由三层材料构成：基底层、粘结层和功能层，其中基底层为铜箔或铝箔，粘结层为双面胶或卡夫特胶，功能层为PE膜或PI膜，三种材料采用覆膜方式结合。悬臂梁位移检测方法为光学成像法，采用50μm级颗粒或反光颗粒作为标记物，使用电子放大镜或单筒显微镜及相机实时成像，经图像处理提取悬臂梁的位移。提供悬臂梁的两种工作模式：静态模式是将悬臂梁固定在静止基座上，动态模式是将悬臂梁固定在压电陶瓷晶片上，通过驱动压电陶瓷带动悬臂梁运动。本发明主要检测VOC气体及气体湿度，结合悬臂梁传感器和光学检测方法的优点，

CN117368123A

基底层

基底层

粘结层

功能层

电脑

气体进口

气体出口

CN117368123A权利要求书1/2页

2

1.一种悬臂梁式气体传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、加工悬臂梁芯片，所述悬臂梁芯片包括三层材料：基底层、粘结层和功能层，所述基底层为铜箔或铝箔，所述粘结层为双面胶或卡夫特胶，所述功能层为PE膜或PI膜，三层材料采用覆膜方式进行结合；

步骤2、将所述悬臂梁芯片固定至传感器盒内的静止固定基座或压电陶瓷晶片上，从而构成静态悬臂梁或动态悬臂梁；

步骤3、搭建传感器检测装置，采用光学成像法检测悬臂梁位移；

步骤4、搭建气体检测平台，构成气体传感器，根据所述悬臂梁的位移情况来检测VOC气体及气体湿度。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式气体传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤1中，所述悬臂梁芯片的加工步骤包括：

步骤1.1、在所述基底层上涂覆所述粘结层；

步骤1.2、在所述粘结层上涂覆所述功能层；

步骤1.3、将结合在一起的三层材料上下覆盖多层称量纸，送入辊压机进行辊压之后，拿掉称量纸，获得紧密粘结在一起的三层材料，然后在通风、干净的地方静置一天；

步骤1.4、将所述粘结在一起三层材料进行机械剪切，剪切尺寸为4mm×1mm×20μm,用于动态悬臂梁，或8mm×1mm×20μm,用于静态悬臂梁。

3.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式气体传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤2中，所述传感器盒包括悬臂梁固定基座、气路通道和透明玻璃窗，所述固定基座是一块亚克力板，尺寸为15mm×15mm×3mm,以45度角向上仰起，上表面固定有弹簧片，用以固定静态悬臂梁或压电陶瓷晶片；所述气路通道为T型，包括主气路通道和通向悬臂梁传感器的狭长气路扩散通道，所述主气路通道尺寸为20mm×5mm×3mm,所述狭长气路通道尺寸为3mm×1mm×3mm;所述透明玻璃窗为矩形，设置于所述传感器盒的顶部。

4.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式气体传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤2中，所述动态悬臂梁的构建方式为，使用弹簧片将压电陶瓷晶片固定在所述固定基座上，再将悬臂梁固定在压电陶瓷晶片上；所述静态悬臂梁的构建方式为，使用弹簧片将悬臂梁直接固定在所述固定基座上。

5.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式气体传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤3具体包括：

步骤3.1、将所述悬臂梁芯片放入所述传感器盒内部固定位置，所述悬臂梁基底层向上；

步骤3.2、在所述悬臂梁基底层的自由端前沿撒上颗粒标记物，用洗耳球轻吹，以保证所述标记物通过静电作用力固定在悬臂梁上；

步骤3.3、组装所述传感器盒，用螺栓固定，调节所述悬臂梁位置，确保从所述传感器盒的透明玻璃窗可以观察到所述悬臂梁；

步骤3.4、将组装好的所述传感器盒竖直固定在光学面板上，所述悬臂梁角度为斜向下