CN102181937A 一种制作太阳能多晶硅绒面的腐蚀液的激活方法 （江阴浚鑫科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102181937A

(43)申请公布日2011.09.14

(21)申请号201010558392.5

(22)申请日2010.11.24

(71)申请人江阴浚鑫科技有限公司

地址214443江苏省无锡市江阴市申港镇镇

澄路1011号

(72)发明人李杨李建飞贺建华杨冬生

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227

代理人李玉秋冯琼

(51)Int.CI.

C30BC30BC23FHO1L

33/10(2006.01)29/06(2006.01)1/24(2006.01)31/18(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

(54)发明名称

一种制作太阳能多晶硅绒面的腐蚀液的激活方法

(57)摘要

CN102181937A本发明提供一种制作太阳能多晶硅绒面的腐蚀液的激活方法，包括：将多晶硅碎片置于带有开口的容纳袋中，在配制腐蚀液的过程中，将所述容纳袋置于腐蚀液原液中对腐蚀液原液进行激活。与现有技术相比，本发明的激活过程是在腐蚀液的配制过程中完成的，因此可以缩短整个腐蚀

CN102181937A

CN102181937A权利要求书1/1页

2

1.一种制作太阳能多晶硅绒面的腐蚀液的激活方法，其特征在于，包括：

将多晶硅碎片置于带有开口的容纳袋中；

在配制腐蚀液的过程中，将所述容纳袋置于腐蚀液原液中对腐蚀液进行激活。

2.根据权利要求1所述的激活方法，其特征在于，所述容纳袋为防酸碱布缝制而成。

3.根据权利要求2所述的激活方法，其特征在于，所述容纳袋的开口的大小可以调整。

4.根据权利要求3所述的激活方法，其特征在于，所述容纳大袋的开口边缘周围设置有拉绳，所述容纳袋开口的大小通过所述拉绳调整。

5.根据权利要求4所述的激活方法，其特征在于，所述拉绳为弹性拉绳。

6.根据权利要求1所述的激活方法，其特征在于，所述容纳袋的开口方向与腐蚀液的流动方向相反。

7.根据权利要求1至6任一项所述的激活方法，其特征在于，所述腐蚀液包括HF、HNO3和水。

8.根据权利要求7所述的激活方法，其特征在于，所述腐蚀液中HNO?:HF按照体积比为10:1～2:1。

9.根据权利要求8所述的激活方法，其特征在于，所述配制腐蚀液是在多晶硅制绒设备中进行的。

10.一种制作太阳能多晶硅绒面的方法，其特征在于，包括：

将多晶硅在权利要求1至9任一项所述的激活后的腐蚀液中进行刻蚀，刻蚀温度为6℃~25℃,刻蚀时间为4分钟～8分钟。

CN102181937A说明书1/5页

3

一种制作太阳能多晶硅绒面的腐蚀液的激活方法

技术领域

[0001]本发明涉及用于制备太阳能电池的多晶硅技术领域，具体涉及一种制作太阳能多晶硅绒面的腐蚀液的激活方法。

背景技术

[0002]太阳能光伏电池，简称为光伏电池，用于把太阳的光能直接转化为电能。与常规能源相比，光伏电池是一种可再生清洁能源，有利于环境保护，并且可以节省造价很贵的输电线路，因此光伏电池具有广阔的应用前景。单晶硅片或多晶硅片是制备光伏电池的主要部件，当太阳光照射在单晶硅片或多晶硅片上时，光能可以转变为电能。

[0003]目前，制备多晶硅太阳能电池主要包括如下步骤：a.首先是表面织构化处理，即通过化学反应使原本光亮的硅片表面形成蠕虫状的绒面结构；b.扩散步骤，如将P型硅片在扩散后表面变成N型，形成PN结，使得硅片具有光伏效应；c.周边刻蚀，该步骤的目的在于去掉扩散步骤中在硅片边缘形成的将PN结两端短路的导电层，减少漏电；d.沉积减反射膜，即在硅片表面沉积氮化硅膜和氧化钛膜，其目的是起减反射和钝化的作用；e.印刷电极，烘干；f.烧结，即使印刷的电极与硅片之间形成合金。

[0004]在上述步骤a)中，对多晶硅表面进行织构化工艺是在多晶硅表面形成蠕虫状的腐蚀坑，利用光陷原理增加光的吸收，降低太阳光在硅片表面的反射率，增加硅片对太阳光的吸收效果，从而提高太阳能电池电性能。

[0005]目前，用于制备多晶硅绒面的腐蚀液一般为HF-HNO?体系的腐蚀液