CN119650432A 一种打印玻璃转接板rdl和金属化tgv集成制造方法 （青岛理工大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119650432A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411771370.5

(22)申请日2024.12.04

(71)申请人青岛理工大学

地址266520山东省青岛市经济技术开发

区嘉陵江路777号

申请人青岛五维智造科技有限公司

(72)发明人兰红波黄君杰吴娜许权朱晓阳李红珂赵佳伟

(74)专利代理机构郑州意创知识产权代理事务所(特殊普通合伙)41138

专利代理师李志强

(51)Int.Cl.

H01L21/48(2006.01)

权利要求书2页说明书13页附图4页

(54)发明名称

一种打印玻璃转接板RDL和金属化TGV集成

制造方法

(57)摘要

CN119650432A本申请涉及三维封装领域，公开了一种打印玻璃转接板RDL和金属化TGV集成制造方法，采用单平板电极电场驱动多喷头喷射沉积微纳3D打印技术，按照优化的打印工艺参数，设定的打印路径，进行高深宽比玻璃通孔高效无缺陷金属化和玻璃转接板表面金属层上导电掩膜图案的打印。采用刻蚀快速成形精密电镀的种子层，实现

CN119650432A

CN119650432A权利要求书