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二极管激光器阵列封装工艺对smile效应影响因素分析.pdf

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 26 3 Vol.26 No.3 年 月 , 2014 3 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Mar. 2014 二极管激光器阵列封装工艺 对smile效应影响因素分析* , , , , 12 1 12 12 12 李 弋 , 郑 钢 , 雷 军 , 高松信 , 武德勇 ( , ; 1.中国工程物理研究院 应用电子学研究所 四川 绵阳 621900 , ) 2.中国工程物理研究院 高能激光科学与技术重点实验室 四川 绵阳 621900 : 。 摘 要 效应是限制二极管激光器阵列应用的一个重要因素 研究了激光器封装工艺对 效 Smile smile , , : ; 应的影响 研究结果表明 造成 smile效应的因素主要有两个 一是焊接过程中芯片的焊接压力不均匀 二是芯 。 , 片与热沉的热膨胀系数不匹配 使用低膨胀系数的压条可以改善焊接过程中芯片压力的均匀性 而增大焊料 , 。 凝固过程中的降温速率可以降低芯片与热沉的收缩量的差距 这两种方法都有利于改善 smile效应 最后通 过实验结果证明了以上方法在实际操作中是可行有效的。 : ; ; ; 关键词 低应变 效应 二极管激光阵列 封装 smile 中图分类号: 文献标志码: : / TN248.4 A doi10.3788HPLPB201426.031004 ( ) , 封装技术是影响二极管激光器阵列 LDA 性能的一个关键技术环节 封装技术水平会直接影响二极管激 [] 1 、 、 。 , , 光器的应力分布 光束质量 功率和寿命 封装过程中 LDA芯片由于受到外部应力的影响产生形变 使各

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