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第 37卷第 11期 光 子 学 报 VoI_37No．11 2008年 11月 ACTA PHoTONICA SINICA November2008 非对称三区光瞳滤波器实现一维横 向超分辨* 郭舒文，郭汉明 ，庄松林 (上海理T大学 光电信息与计算机工程学 院，上海 200093) 摘 要：基于严格的光学成像 矢量衍射理论，以4倍缩小倍率的成像 系统和 z线偏振光照明为例 ， 得到经光瞳滤波器调制的大数值孔径光学系统焦区横向场表达式．通过详细研 究非对称三 区复振 幅型光瞳滤波器的内外环 归一化半径、各环相位分布和第一层透过率 t对 方向分辨率增益比 G 斯特尔比S 和第一旁瓣与主瓣相对强度 的影响．设计 了一种非对称三 区相位 型光瞳滤波 器，实现G，一0．8345，S一0．4087，J，=0．4923，使得 方向分辨率比没有加光瞳滤波器时提高 了 将近 20 ． 关键词：信息光学；矢量衍射 ；超分辨；光瞳滤波器；双重曝光 中图分类号 ：O438 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4213(2008)11-2222—5 0 引言 然而这种设计光瞳滤波器实现超分辨率_l5 依 据的Wolf矢量衍射理论 6【只适用于点源位于光轴 提高光学系统分辨率是光学设计的一个重要 目 无穷远情况 ，无法直接用于 4倍缩小倍率的光刻成 标之一．在 1952年 ，DiFrancial1首次在成像系统 像系统．因为在低缩小倍率光学系统 中，物方数值孔 中加入光瞳滤波器 ，实现了突破瑞利衍射极限的超 径也非常大 ，它也会引起像场的畸变_8]，因此严格 的 分辨率．随后 ，研究人员研究 了通过各种不同光瞳滤 矢量场成像理论必须同时考虑物方孑L径角对像场分 波器[2 实现超分辨率技术 ，包括振幅型滤波器 、相 布的影响．最近，Guo等人 详细推导了点源位于光 位型滤波器，以及振幅和相位均可调的复振幅型滤 轴上任意位置时消球差光学系统矢量成像理论 ，并 波器．然而到 目前为止，大多数的研究都是基于光学 且详细分析了线偏振光和圆偏振光照明时，横 向分 成像的标量衍射理论进行的l1 ． 辨率与物方和像方孔径角的关系，指 出当像方孔径 为了进一步提高分辨率 ，需要减小入射光波长 、 角比较大时，像面 电能量密度分布不再是 圆对称分 增大光学系统的数值孔径．也就是说，在需要提高分 布，能够在与入射光偏振态垂直的方 向获得更高的 辨率的光学系统 中，该光学系统通常具有大数值孑L 分辨率_l8]．以往 的分辨率增强技术研究 【 都是在 径的特点．此时光波的矢量特性表现明显，光学成像 成像系统中加人轴对称光瞳滤波器．这种光瞳滤波 的标量衍射理论不再适用．因此 ，Jabbour等人 ]基 器1] 虽然可以在横向(， 方向)获得相同的分辨 于 wo1f矢量衍射理论 研究 了采用线偏振光照明 率增益 比G ，但是实际上这两个横 向分辨率并不相 时 ，两区和三区轴对称相位型光瞳滤波器的半径及 同．为了使两个横向的分辨率相 同，可以设计出一种 各环相位对像方轴 向光强分布的斯特尔比和旁瓣主 非对称光瞳滤波器 ，利用线偏振光照明使横向中的 瓣相对强度 的影