轻拍式探针定位技术的研究.pdfVIP

轻拍式探针定位技术研究 朱若芬 中珏l计譬学院．抗州310034j 摘蛰牟殳汀丸廿]删1论分析甘…薄J1件I也陶瓷澈抵的总髓-℃牡抽株针的振幅额卑表小-℃．I三．为振辐或 r展住定位点的存“以及己的判别方；上。 的实验数姑一疗血骑证，j望论分析的适H]扎，外也捉m 天键H： j{拍-℃抓针悬臀粱激振定付救蕾 1前言 包括纳米沏理学，纳米I乜j，-学，纳米材料。≠，纳米机械学，纳水牛物学，纳米贸 微学，纳米计嚣学和纳水加工的纳米技术是基ti,t16}t究与应用技术紧密联系的高新投 术。 门前扫描探测显微术，原f力显微镜，以及扫描}乜镜已在纳米技术领域得到越宋越普 Thorntonjl：j发”1，但是限于我们的实验 遍的应用。本文讨论的轻拍式探针受John 条件仅作}j5原理性实验。 通过它找到轻拍式探针的瞄准定位特性，也就是它的振动频率，振幅和相位在触及表 澜过程中的变化信息。虽然我们的实验装置完全不能与原于力驻微镜相比，但仍然证 实厂高分耖．率定位区域的存在．以及在此基础j二可以构成新型探头的表面轮廓测量仪 器。 2工作原理 参照文献【2]， Jli电懋俘式激振器的短路无负载谐振频率¨]表示为： 。=譬蹶 si为品片弹忤柔顺 式中对慰臂式∥。=风=0．16，h为双品片厚度，，为舣晶片长度t 迫振动}廷，州戎1j 一469— (2) 粤+2孝+m：，：等v(，)dt 2 ’dt ”。 47 、’ 式中：y和，分别表示探针朝测量面的位移和时问外，善为阻尼率，棚。为无阻尼内itt 共振频率，111为探针等效质肇，B为与逆压电效应有关的常数，它与压电陶瓷片的儿 伺形状，逆压电常数，以及介电常数决定的电容有关．但这些参数随探针结构，材料 确定而不变。V(t)勾施加的电压，可设 V(，)=vo萄nf耐十妒) (3) 不失一般性，管≯=O，那术式(2)的解” y(t)=一1lsin(科+≯I)+A2e一。sin(o，。，+妒2)】 (4) 式中：盱厄：丽=打二再。，已设f=％。；妒厮：或由式(1) 妒l=ta叽～[24,00印，’(092一出：)】；≯2=tan一【2扣um，，／(co2+(2f2一】)∞翔． 当t足该大时，即稳定受迫振荡解为 y(f)：=三毕。in(甜+≯，) m-qa 式中：B为如自口所述的逆压电效应常数，单位NV’，V。为激振电压幅值．单位V， f为无量纲阻尼系数，m为等效质量，∞为驱动电源频率。山式(4)，(5)得出的 重要结论是当轻拍式探针接近到待测表而的相互作用区时，会导致f的变化，Dt．i而tti 振幅(彳I)，位相(庐．)和工作频；钲(甜兰∞。=√i而珊。)的变化分别反映出来。这‘ 理论也已经得到我们的实验证明。 3实验结果 实验装置由图l方框I斟表_÷，其·lt带平镜一I：作台给出哑微米进动 它的微小位移量…分辩牢O．1微米n0电感洲微仪测％}， 一470— {黼卜———；=o． I调芦咯 ：哥叫网磷 a1 mm 4