铁电材料在光电子技术领域的若干应用.pdfVIP

商景林等：铁电材料在光电子技术领域的若干应用 和半导体光波导L5]。 的光阀开关有几个无法克服的缺点：响应时间慢(一般 为了提高波导及波导型器件的性能，许多研究小 在几十个ms)，有效工作温度范围较窄且在5～10℃以 组正在积极探索使用新型材料制作光波导L12’1引。其下时其响应速度大幅度下降l同时，需采用多层迭片才 中，铁电薄膜光波导及器件就是研究较多的一类。例 能完成较大的变光范围。 如，戴宁研究组就用改进的溶胶一凝胶工艺成功构筑 为克服这些缺陷，王怀青等人采用铁电陶瓷取代 了结构为Si／LaNi03／PbZro．5Tio．50。／PbZr。．4Tio．603 液晶，成功研制了铁电陶瓷基光阀开关Ds]。光电性能 x 的光波导和反射式1×1路、22路铁电薄膜电光开 测试表明，其零点几个ms的光电响应时间、较宽的工 关。尽管基于现有技术制作的PZT光波导的传输损 作温度以及稳定的响应速度，明显优于液晶基光阀开 耗较大，但初步实现了对光的传输和约束。 关。但是，在铁电陶瓷基光阀开关的制备过程中，需要 目前，适用于制作光波导器件的铁电薄膜生长、器 将铁电陶瓷毛坯切割、研磨、抛光成0．35ram的薄片， 件工艺以及与半导体器件集成方面的技术有待突破。 因此，产品存在成品率低和成本高的问题。为实现该 今后铁电薄膜光波导的研究将会集中在以下几个方 产品的产业化，在电极片的制造工艺、电路设计集成化 面：新型铁电薄膜材料和薄膜制备方法的探索；新型结 方面仍需要进一步的改进和完善。 构铁电光波导的设计与构架等[5]。 6 结语 4铁电光子晶体 本文简要介绍了多功能铁电化合物在新一代非致 光子晶体的制备、物性及应用研究一直是科学技 冷红外探测器、光波导、光阀开关及一维光子晶体和光 术领域最活跃的前沿之一。当今，如何利用具有电光 学微腔等方面的应用。文中提到的铁电光子晶体制备 效应的铁电材料构筑光子晶体已成为人们广泛关注的 新技术，对推动、拓展铁电材料在光子带隙工程领域的 一个热点。近年来，戴宁研究组发展了一种操作简单、 应用，实现光机电一体化，活跃周期性铁电光子晶体基 普适性强，基于单一化学溶液制备一维铁电光子晶体 本性质的研究，形成具有自主知识产权的高新技术和 的技术[6‘。]。借助该方法．可在硅衬底、钛酸锶衬底和 新的产业生长点等都具有重要意义。可以预计。铁电 石英衬底上生长对特定波段的电磁波具有很高反射率 材料在光电子技术领域将发挥越来越重要的作用。 且反射带位置可调的铁电一维光子晶体I同时利用铁 电材料的电光效应，通过外加电场初步实现了光子晶 参考文献： 体反射带位置的动态调控。此外，他们还解决了玻璃 受热易变形以及热胀系数与铁电材料不匹配等技术难 F2]陈实．张海波，姜胜林，等．[J]．红外与激光工程， 题，在石英衬底上成功制作了PZT一维光子晶体，反 2006，351419-436． 射谱和透射谱测量表明，这种生长在透明衬底上的一 [3]胡旭，太云见，袁 俊，等．[J]．红外与毫米波学报， 维光子晶体完全可以用作介质反射镜和选择性虑光 2006。25：22-24． 片‘引。 [4]林铁，孙瑕兰，孟祥建，等．[J]．红外与毫米波学报。 由于光学微腔对电磁波具有放大作用、高的激光 2007。