科学级CCD相机标定系统的设计.pdfVIP

第40卷增刊 光子学报 V01．40 Sup．1 2011年12月 December ACTAPHOTONICASINICA Z011 文章编号：l004—4213(2011)s1一0085—5 科学级CCD相机标定系统的设计 谭家海1，陈永权1，屈有山1，陈琦2 (1中国科学院西安光学精密机械研究所，西安710119) (2西安文理学院，西安710065) 摘 要：针对某系统中大批量科学级CCD相机标定的需求，设计了一套能够大批量、快速标定科学 级CCD相机的高准确度标定系统。相机标定系统由1053nm纳秒固体激光器、刀口、双积分球、激 053nm光 光功率计、信号发生器、计算机与数据处理软件组成，该标定系统可对科学级CCD在l 脉冲条件下的调制度、对比度、疵点、光学动态范围、响应非线性等关键技术指标进行标定．系统设 计了高均匀度、高稳定度的双积分球作为均匀光源，有效改善了测量系统的性能及测量准确度．实 验结果表明，该相机标定系统能够快速、高效地对大批量科学级CcD相机进行高准确度标定． 关键词：测量；科学级CCD；高准确度 中图分类号：TL653；0536文献标识码：A 1053 nm光脉冲，通过专用积分球匀化，将不同强度 0 引言 下的激光均匀地漫射至科学CCD相机靶面，由科学 在光学系统研究中，科学级CCD已成为激光等 CCD采集灰度图像并上传至计算机，通过数据处理 离子体诊断实验最主要的图像读取与记录设备，经 软件分析计算科学CCD的图像数据，完成对科学 常与光学条纹相机、OMA谱仪、X光条纹相机、分CCD的调制度、对比度、光学动态范围、光学响应非 幅相机，透射晶体谱仪等仪器耦合进行激光等离子 线性度等各项指标的测试与标定． 体诊断[1。]．CCD相机调制度、对比度、动态范围及 2 1珥联卿ingsphe理lImergfa6ngsphere 响应非线性度等性能参量，直接影响实验测量结果 的精确性，是物理实验中不确定度的重要来源之一． 在很多文献中都提出了对CCD的标定方法-8]，其 中较为通用的方法就是通过单积分球光源来标定 CCD[9。10]，但单积分球光源的均匀性有时很难满足 系统标定准确度要求．在这种标定方法基础上本文 针对某系统中科学级CCD相机的主要性能参量(调 制度、对比度、疵点、光学动态范围及响应非线性)， 图l CCD标定系统示意图 设计了一套结构简单，具有很高光源均匀性的双积 ofCCDcalibration Fig．1Diagram system 分球光源科学级CCD相机标定系统，可获得科学 在标定系统中，关键部分为双积分球光源及科 CCD调制度、对比度、动态范围、疵点、响应非线性 学级CCD相机数据采集处理软件．因此，要满足标 的测试数据，实现对某系统中科学级CCD相机流水 定要求，对关键部件的积分球光源与数据处