加强质量管理体系建设推动重点实验室科技创新.pdfVIP

加强质量管理体系建设 推动重点实验室科技创新 采取规范化的质量管理体系强化科研管理是社会经济发展的必然趋势。加强质量管理体系 建设是推动重点实验室科技创新的可靠保障。微米／纳米加工技术国家级重点实验室的实践为 我们提供了可贵的经验和启示。 口 钟灿涛 金玉丰 张大成 合的高科技领域．涉及电子、机械、材料、 室拥有先进的微纳)]n-r技术研发环境． 微米／纳米技术是以特征尺寸在微 制造、检测，以及物理、化学和生物等不 即服务于基础科研．又能够开发面向小 米／纳米尺度的结构、器件和集成系统 同学科。例如实验室正在开展的植入式 批量器件)]n-r的产业化技术。实验室在 的设计、)]n-r以及应用为目的的新兴技 生物医疗微系统的研制，涉及了微型传 积极承担国家基础科研项目的同时，也 术。借助微电子技术发展起来的自顶向 感器和执行器的设计和制造技术、植入 非常注重与国内外MEMS技术应用单位 下的精细加工技术导致了微机电系统的 传感器与外界的信息传送和能量交换技 的合作．推动我国MEMS技术向产业的 出现。广义的MEMS是包括获取和控制 术、植入系统的生物兼容性和医学检测 转化。如实验室开发的深刻蚀模拟工 外界信息 (力、热、生物、化学等)的 等多个方面的知识。除了实验室中微米／ 具．已经成功的成为国际知名MEMS设 传感器和执行器以及进行信号处理和控 纳米加工和设计、信号处理等背景的科 计工具Intellisuite的一个模块销售。实验 制的电路的集成微系统。MEMS技术可 研人员参与外，还联合了医学院校中具 室开发的压阻工艺．也转移到企业．实 广泛用于航空航天、军事、汽车、通信、 有生物医药背景的科研人员共同参与。 现了压阻式压力传感器的批量生产。 生物医药和消费类电子等诸多领域。 2、基础研究与技术开发并重。作为 4、 高校提供了有利于创新的科研 微米／纳米)]n-r技术国家级重点实 新兴领域．许多问题的解决都依赖于基 环境。重点实验室依托北京大学和上海 验室结合依托单位北京大学和上海交通 础研究的成果，因此微纳技术的发展离 交通大学建设，两所高校都具有比较完 大学建立科研质量管理体系的契机，根 不开基础研究。基础研究与技术开发的 备的学科体系和良好的人文环境，为具 据重点实验室的特点．进一步提高了实 紧密结合是本实验室的另一大主要特点。 有多学科交又特点的微米／纳米技术的 验室科研管理水平．为实验室的科技创 作为以)]n-r技术为主要研究方向的实验 发展提供了良好的科研平台。高校宽松 新能力提供了可靠保障。 室非常注重关键工艺的基础研究。依靠 开放的科研环境有利于实验室的多学科 微米／纳米加工技术国家级