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增 刊 原 子 与 分 子 物 理 学 报 ! $%%’(
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年 月
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文章编号： （ ）增刊
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规则锑化铟团簇颗粒的制备
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周剑峰 ，许长辉 ，赵世峰 ，时钟涛 ，宋凤麒 ，韩 民
（ 南京大学材料科学与工程系，南京 ； 南京大学物理系，南京 ）
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摘 要：采用低能团簇束流淀积（ ）装置，在不同温度的衬底上，制备得到不同形貌的锑化铟团簇颗
3:8D9
粒，如三角形颗粒、六边形薄片和长方体颗粒等 形貌的差别认为是由锑化铟各向异性生长所致
? ?
关键词：锑化铟；形貌；各向异性
中图分类号： 文献标识码：
.EF 6
及形状密切相关，因此制备不同形貌的 颗粒
@ 引言 7’!G
对于其发光性质的研究有着重要的意义?
锑化铟（ ）是一种 族窄带化合物，
7’!G ! H
时禁带宽度为 ，属于红外波段，在红
B**I *?@E%J ) 结果和分析
［］
外天文学以及热成像领域广泛使用 @ 同时，在所
?
有的半导体材料中，锑化铟的电子迁移率是最快
实验的3:8D9装置由团簇源室、三级真空差
的，这在制作高速晶体管方面具有潜在的应用价
分系统以及样品沉积室构成 在团簇源室内，前驱
?
［ ］
值)#, 早期对锑化铟的研究主要针对薄膜样品，
? 物通过热蒸发生成气态物，经过和惰性冷凝气体的
旨在如何制备高质量的 晶体薄膜以保证其高
7’!G 碰撞，冷却形成团簇，而后经过差分系统的超声膨
的电子迁移率 但由于 和衬底材料的晶格失
? 7’!G 胀作用，形成具有一定动能的准直束流，在沉积室
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