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数控多线切片机产业化研究
数控多线切片机产业化研究
[摘 要]阐述了作为电子工业专用设备,国产数控多线切片机的产业化对加快我国智能化装备的发展,大量替代进口设备将起重要作用。
[关键词]多线切片机 技术现状 产业化
中图分类号:TP393.08 文献标识码:A 文章编号:1009-914X(2015)13-0273-01
Industrialization research of Nc multi-line slicer
LIANG Ren He ZHOU Shi Zeng
BEIJING JINGYI CENTURY ELECTRONICS CO.,LTD
[Abstract]As electronic industrial specialized equipment is expounded, domestic nc industrialization of multi-line slicer to speed up the development of intelligent equipment in China, a large number of replacement of imported equipment will play an important role
[Key words]Nc multi-line slicer; Technology status quo; Industrialization
数控多线切片机的工作原理是通过金属丝带动磨料的高速运动,能将硅锭或硅棒料一次切割成数百片至数千片的机床。也能切割化合物半导体、蓝宝石、石英晶体、压电陶瓷、磁性材料等脆性材料。机床为双主辊结构,结构简单,加工成品率高。控制系统采用工控机和可编程序控制器,进行全自动数字控制。执行机构采用交流伺服电机驱动,以实现高速切割和钢线张力的精确控制。切割室采用方形结构,全封闭防护,外观整齐,便于操作者靠近和操作。
1、国际多线切割设备技术现状及发展趋势[1][2]
多线切割设备为国际3大厂统治,分别为瑞士的HCT、Meyer Burger(梅耶博格)和日本的NTC。瑞士的HCT、梅耶博格最早在上世纪80年代就推出了线切割机,主要为半导体行业所用。
1.1 HCT简介
HCT针对市场需要,在2005年推出了世界上最大的太阳能硅片线切割机B5。HCT在2000年进入中国市场。HCT在太阳能行业应用的主流机型是B5,双工作台4个导轮满载可以一次切割硅棒长达到2米,非常适合大规模生产。
1.2 梅耶博格简介?
成立于1953年,早期主要生产研发外圆和内圆切割机。在1980年启动线切割技术的研究,1991年正式推出了第一台线切割机DS260。2000年推出了针对太阳能光伏市场需求的双工作台4导轮的DS262机型,该机型理论上切割负载可以达到2米,但实际上根据国内客户的使用情况反馈,DS262并不是一个非常成功的机型,一般切割负载在1.2米左右比较合适,切割硅片的合格率相比较低。
根据市场的变化,梅耶博格在2004年推出了小型机DS265,该机型只有一个工作台可以同时切割2个300毫米长的硅棒,和NTC MWM442D机型非常的类似,该设备在国内使用的客户较少,客户反映设备稳定性不够,维护费用过高。
梅耶博格在2005年推出了最为成功的单工作台的新机型DS264,该机型可以切割一根棒长达820毫米的硅棒,针对多晶硅片市场比例迅速的提高情况下,非常好的满足了市场新的需求。
1.3 NTC简介
NTC最为畅销的机型是MWM442D,由于其投资小、维护费用低、适合使
用细直径切割钢丝,深受国内很多新进入切片领域小公司的欢迎。于2008年推出了新的设备类型单工作台面的PV600 和PV800,这些设备借鉴了梅耶博格DS264的设计理念,切割最大负载棒长分别达到630毫米(3根210毫米,单根棒最大负载600毫米)和840毫米(4根210毫米,单根棒最大负载800毫米)。这些设备非常好的适应的多晶硅片的生产。
2.我国多线切割设备技术现状及发展趋势
国内很多厂家在多线切割机的开发上投入了很大的人力、物力,但是实际进展却并不如人意,在市场上很少看到大规模适用的设备。国内目前在开发多线切割机样机技术上,面临着成品率低、断线率高、控制精度差、不能量产等难题,加上试验材料价格高昂,客户尝试新机器的成本非常高,每次的损失可能动则几万元到几十万元,这也限制了设备制造企业获得更多的生产性试验数据来改进设备。即便是能够生产合格的样机,由于资金问题也很难形成批量化生产能力,以致造成型数控多线切片机产品市场一直被日本等外国公司垄断。
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