电泳沉积pzt厚膜材料与集成器件工艺研究-材料科学与工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 ELECTROPHORETIC DEPOSITION PZT THICK FILM MATERIALS AND INTEGRATED DEVICE TECHNOLOGY RESEARCH Master Thesis Report Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Materials science and engineering Author: Chong Chen Advisor: Prof. Wanli Zhang School: School of Microelectronics and Solid-State Electronics 万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 论 文 使 用 授 权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 热释电红外探测器是一种可在室温下使用，光谱响应宽和工作频率宽的高可 靠性的探测器，在电子防盗、人体探测器领域中具有重要的应用。对于传统的热 释电探测器，热释电材料的性能和探测器的结构对其性能有关键的影响。本论文 正是针对上述问题，围绕 PZT 热释电厚膜红外线列探测器，开展了厚膜材料制备 与器件微细加工工艺研究。主要内容为： 1.在厚膜的制备工艺方面，实验研究了电泳沉积方法制备 PZT 热释电厚膜。 通过对 PZT 原料粉料的振动球磨、电泳沉积、冷等静压以及烧结工艺等实验研究， 优化了厚膜的制备工艺，实现厚膜在 750℃的低温烧结。 2.采用直流磁控溅射法在 Si 基片上制备了致密的 TiOx 阻挡层。结果表明，当 TiOx 阻挡层为 500 nm 时，可阻挡 Pb 和 Si 互扩散，热释电性能最好。热释电系数、 相对介电常数、损耗 角正切和探测度优值 因子分别为 p=1.5×10-8Ccm-2·K-1 ， εr=170，tanθ =0.02，Fd=1.05×10-5 Pa-0.5。 3.采用 AZ9260 光刻胶作为隔离层环状设置于衬底的凹槽边缘。结果表明，当 隔离层厚度为 7μm 时，不仅能有效引出上电极，阻挡电极导通，提高成品率，而 且能保护 厚 膜 材 料 和 金 属 电 极 的 质 量 ， 获 得 较 好 的 热 释 电 系 数 p=1.05×10-8 Ccm-2·K-1。 4.利用半导体微细加工工艺制备了 PZT 热释电厚膜探测器。为了获得表面形 貌较好的正面硅杯凹槽，实验采用了四甲基氢氧化铵（TMAH）腐蚀溶液进行湿 法腐蚀；为了获得探测器的悬空热绝缘结构，提高器件制备的重复性和成品率， 实验采用了先湿法腐蚀后干法刻蚀的工艺。实验结果表明，当斩波器频率为 5.3Hz 时，探测器电压响应率约为 2.17×102V·W-1；在频率为 122.3Hz 时，探测率达到 9.0×107cmHz1/2·W-1。 关键词：PZT 厚膜，电泳沉积，MEMS，热释电厚膜探测器 I AB ABSTRACT ABSTRACT Pyroelectric infrared detector can be used at room temperature, as a kind of high reliability detector which have the wide spectral response and the wide frequency range, Pyroelectric infrared detector is playing an important role in the field of electronic security, human body detector applications。From the current research situation, it is found that the