- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
定晶向硅晶体电火花多次切割技术研究-机械制造及其自动化专业论文
承诺书
本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师指导下, 独立进行研究工作所取得的成果。尽我所知,除文中已经注明 引用的内容外,本学位论文的研究成果不包含任何他人享有著 作权的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人 和集体,均已在文中以明确方式标明。
本人授权南京航空航天大学可以有权保留送交论文的复印 件,允许论文被查阅和借阅,可以将学位论文的全部或部分内容 编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或其他复制手 段保存论文。
(保密的学位论文在解密后适用本承诺书)
作者签名: 日 期:
南京航空航天大学硕士学位论文
南京航空航天大学硕士学位论文
定晶向硅晶体电火花多次切割技术研究
定晶向硅晶体电火花多次切割技术研究
摘 要
单晶硅在应用时往往都需要沿着特定晶向的表面,例如衍射晶体的使用,能够实现对原始 光束的单色化,是中子散射谱仪、X 射线衍射谱仪等设备的核心部件。科研人员对具有特定晶 向的单晶硅材料的加工提出了越来越高的要求。电火花加工是一种没有宏观加工力的特种加工 方法,加工不受材料硬度限制,非常适合对硬脆的单晶硅材料的加工。而且利用电火花线切割 进行单晶硅定晶向加工具有其它传统加工方式不具备的适应性和加工精度。
本文利用金属材料电火花线切割中的多次切割技术,将其应用到单晶硅定晶向切割加工中, 以进一步提高定晶向加工的表面质量和加工精度。通过利用单脉冲放电系统对单晶硅电火花的 蚀除过程进行分析,阐述了放电能量对表面质量的影响。并分析不同能量对单晶硅电火花线切 割的加工表面质量的影响。根据分析找出合理的多次切割参数,实现了对加工表面质量的改善。 同时验证了多次切割对定晶向切割加工晶向精度的提高作用,并实现了单晶硅定晶向高表面质 量高晶向精度的加工。具体工作如下:
(1)设计了单晶硅电火花多次切割实验系统,实现了定晶向单晶硅电火花多次切割。
(2)制作了半导体单脉冲放电系统,进行了单晶硅的单脉冲放电实验。观察了不同放电能 量下的电蚀坑形貌,发现单晶硅的电火花加工中存在热蚀除、应力蚀除和二次破碎三种蚀除形 式。
(3)研究了单晶硅电火花线切割在不同放电能量下的表面粗糙度、表面微观形貌和变质层 厚度。找到了合理的修刀补偿值参数,提高了加工的表面质量,减少后续加工余量。在同等加 工表面质量下,缩短了 90%的加工时间。
(4)研究了单晶硅多次切割对定晶向加工的晶向精度的影响。提高了晶向精度,减小了晶 向误差的波动。
(5)利用进电端放电法制备欧姆接触,加快了放电切割定晶向硅片的速度,实现了大尺寸 单晶硅定晶向电火花多次切割。
关键词:单晶硅,电火花线切割,定晶向切割,表面质量,多次切割,晶向精度
I
PAGE
PAGE IV
III
III
ABSTRACT
The surface of monocrystalline silicon is often required the specific crystallographic planes in practice, such as diffraction crystal, which can monochromatize polychromatic light. Diffraction crystal is the core unit of optical detection equipment. The requirement of the surface quality and the crystallographic orientation accuracy are very high. Electrical discharge machining (EDM) has no macroscopic force which is not restricted by material hardness, which is very suitable for hard brittle monocrystalline silicon.
This paper combined the discharge cutting for specific crystallographic planes of monocrystalline silicon with multiple cutting technology to improve the surface quality and machining accuracy. The removal process was discussed by using single pulse discharge system. The machining surface quality of different en
您可能关注的文档
- 电子政务绩效评估技术指标体系的构建及应用研究-行政管理专业论文.docx
- 电子政务绩效评估体系分析-政府管理与电子政务专业论文.docx
- 电子政务绩效评估指标体系分析-行政管理专业论文.docx
- 电子政务门户系统中身份认证技术及其在基础组件中应用研究计算机软件与理论专业论文.docx
- 电子政务视角下的政府流程再造研究行政管理专业论文.docx
- 电子政务体系构建与政务微博互动研究-公共管理学专业论文.docx
- 电子政务统一审批平台研究与设计-计算机应用技术专业论文.docx
- 电子政务网安全技术分析及应用-计算机技术专业论文.docx
- 电子政务网中信息系统数据安全策略研究-计算机系统结构专业论文.docx
- 电子政务网络风险评估与安全控制-项目管理专业论文.docx
- 定量pcr技术在环境水体病原细菌检测中的应用研究-市政工程专业论文.docx
- 定量ct测量正常成人肝实质密度的初步研究-影像医学与核医学专业论文.docx
- 定量步态研究仪的设计与实现-检测技术与自动化装置专业论文.docx
- 定量充磁机充电系统的设计-电路与系统专业论文.docx
- 定量蛋白质组silac内标制备技术和高转移潜能肝癌细胞磷酸化蛋白质组学研究-生物化学与分子生物学专业论文.docx
- 定量蛋白质组学初步研究非小细胞肺癌转移机制-生物化学与分子生物学专业论文.docx
- 定量动态增强磁共振成像在眼眶肿瘤临床诊断中的价值-临床医学专业论文.docx
- 定量构效关系和分子对接在药物分析化学中的应用-分析化学专业论文.docx
- 定量多普勒组织速度成像及解剖m型超声对冠状动脉病变诊断价值的研究-影像医学与核医学(超声方向)专业论文.docx
- 定量构效关系方法在离子液体和有机物中的应用及离子液体辛醇水分配系数的测定-化学工艺专业论文.docx
最近下载
- 二级圆柱齿轮减速器机械设计课程设计.docx VIP
- 小学养成教育校本课程教材(低年级用).pdf VIP
- 2025年新教科版三年级上册科学全册知识点(含实验梳理).pdf VIP
- 2025年会计专业论文选题(精选200个).pdf VIP
- 《赵氏雷火灸的临床应用》课件.ppt VIP
- 目录化工和危险化学品生产经营单位重大生产安全事故隐患判定标准(试行)化工和危险化学品生产经营单位重大生产安全事故隐患判定标准解读.docx VIP
- (阶段检测提升卷)+五年级数学上册第(1-3)单元+考点突破+检测试卷+++北师大版.docx VIP
- 压铸外观标准(附件).doc VIP
- 贵州省遵义市2024-2025学年七年级上学期11月期中数学试题(含答案).pdf VIP
- 《最后的常春藤叶》教学实录.doc VIP
原创力文档


文档评论(0)