多晶硅还原炉底盘流动传热学数值分析-化学工程专业论文.docxVIP

parametrically during the experiments. There are some corresponding relationships between the cooling performance and flow resistance, that is, better cooling performance with the higher flow resistance and worse cooling performance with the lower flow resistance. And a pressure drop of inlet and outlet allows us to characterize flow resistance. The highest pressure drop is about 1200Pa. KEY WORDS：Polysilicon reduction furnace, Computational fluid dynamics, heat transfer, flow resistance 目 录 HYPERLINK \l _bookmark0 目 录 4 HYPERLINK \l _bookmark1 第一章 文献综述 1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.1 多晶硅还原炉的发展和现状 2 HYPERLINK \l _bookmark3 1.1.1 多晶硅行业的发展历程 2 HYPERLINK \l _bookmark4 1.1.2 多晶硅工艺路线的选择 2 HYPERLINK \l _bookmark5 1.1.3 西门子法工艺介绍 3 HYPERLINK \l _bookmark6 1.2 多晶硅还原炉的研究方向 4 HYPERLINK \l _bookmark7 1.2.1 温度的影响 5 HYPERLINK \l _bookmark8 1.2.2 电极频率的影响 6 HYPERLINK \l _bookmark9 1.2.3 压力的影响 7 HYPERLINK \l _bookmark10 1.3 多晶硅还原炉的研究进展 8 HYPERLINK \l _bookmark11 1.3.1 电极棒布置 8 HYPERLINK \l _bookmark12 1.3.2 进出气口布置 11 HYPERLINK \l _bookmark13 1.3.3 底盘布置 22 HYPERLINK \l _bookmark14 1.3.4 其它前沿性研究 24 HYPERLINK \l _bookmark15 1.4 小结 26 HYPERLINK \l _bookmark16 第二章 多晶硅还原炉底盘流动结构的计算传热学 27 HYPERLINK \l _bookmark17 2.1 物理模型 27 HYPERLINK \l _bookmark18 2.1.1 传统多晶硅还原炉底盘 27 HYPERLINK \l _bookmark19 2.1.2 新型多晶硅还原炉底盘 29 HYPERLINK \l _bookmark20 2.2 控制方程 30 HYPERLINK \l _bookmark21 2.3 边界条件 31 HYPERLINK \l _bookmark22 2.4 模拟计算方法 32 HYPERLINK \l _bookmark23 2.5 计算结果与讨论 33 HYPERLINK \l _bookmark24 2.6 小结 39 HYPERLINK \l _bookmark25 第三章 多晶硅还原炉单棒结构优化 40 HYPERLINK \l _bookmark26 3.1 国外改善流道结构的方法。 40 HYPERLINK \l _bookmark27 3.2 物理模型 40 HYPERLINK \l _bookmark28 3.3 控制方程 41 HYPERLINK \l _bookmark29 3.4 边界条件 42 HYPERLINK \l _bookmark30 3.4.1 入口边界条件 42 HYPERLINK \l _bookmark31 3.4.2 出口边界条件 43 HYPERLINK \l _bookmark32 3.4.3 壁温边界 43 HYPERLINK \l _bookmark33 3.5 数值计算方法 43 HYPERLINK \l _bookmark34 3.6 计算结果和讨论 44 HYPERLINK \l _bookmark35 3.6.1