基于半导体外延片生产的制造执行系统的设计实现-计算机应用技术专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 西安电子科技大学 学位论文独创性（或创新性）声明 秉承学校严谨的学风和优良的科学道德，本人声明所呈交的论文是我个人在 导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标 注和致谢中所罗列的内容以外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成 果；也不包含为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的 材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说 明并表示了谢意。 申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切的法律责任。 本人签名： 日期: 西安电子科技大学 关于论文使用授权的说明 本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定，即：研究 生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。学校有权保 留送交论文的复印件，允许查阅和借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分内 容，可以允许采用影印、缩印或其它复制手段保存论文。同时本人保证，毕业后 结合学位论文研究课题再撰写的文章一律署名单位为西安电子科技大学。 （保密的论文在解密后遵守此规定） 本学位论文属于保密，在 年解密后适用本授权书。 本人签名： 日期: 导师签名： 日期: 摘要 摘要 随着制造业规模的不断发展，信息化在工业生产中的地位越来越重要。制造 执行系统的出现有效的解决了制造业信息化实施过程中出现的问题。它有效的将 生产计划层和设备自动化系统连接起来。 本文在对制造执行系统（MES）的架构、功能分析的基础上，研究了 WCF 通信模型、MVP 三层架构和工作流文件等相关技术，设计实现了基于半导体外延 片生产的 MES 软件系统，并对 MES 中处于重要地位的在制品管理、工程数据收 集模块的工作方式及设计实现过程做出了重点说明。 从在制品管理方面来看，MES 可以追溯制造过程中的每一个生产环节，从源 批次的流入到产品的生成，并且方便工程师根据这些数据分析生产过程，改进生 产工艺。 工程数据收集是制造执行系统中非常重要的一个部分，它能够收集到生产操 作过程中全部的相关数据，收集到的数据可以用于稍后的质量分析，以便对系统 性能和效率进行评估。 本文从需求分析、模块设计等方面讲述了系统的实现过程。最后对系统功能 模块进行测试。完成整个项目的开发。 关键词：制造执行系统 在制品 工程数据收集 WCF MVP ABSTRACT ABSTRACT With the continuous development of manufacturing scale, the position of information technology in industrial production is getting more and more important. The appearance of the manufacturing execution system effectively solved the issues arising from the implementation of the manufacturing information. It will also make the plan layer and device automation systems connected effectively. Based on the analysis of the framework and functional of the manufacturing execution system (MES),the WCF communication model, MVP three-tier architecture, workflow documents and other related technologies are studied. The MES software system based on the semiconductor wafer production are designed and implemented. Besides, the work process and design methodology of Work-in-process (WIP) and data collection module, which play an important role in the MES system, are further discussed in this paper. From the aspect of WIP management, MES can trace every production steps ranging from t