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浅谈精三氯氢硅产品质量控制 摘要：三氯氢硅是改良西门子法生产多晶硅的一种 基础原料，有效的控制精制三氯氢硅的质量，是提高多晶硅 产品质量的关键。而影响精制三氯氢硅质量的因素又是方方 的，因此深挖影响精制三氯氢硅的影响因素，规范生产 操作及加强过程的管控，是保证精制三氯氢硅质量，进一步 保证多晶硅质量的的必经之路。 关键词：多晶硅；精制三氯氢硅；规范；控制精馏 一、引言 国内多晶硅生产企业大多采用改良西门子法。改良西门 子法是通过工业硅粉与气态氯化氢的合成反应，生成由三氯 氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅组成的氯硅浣混合物，其中还 含有少量的聚氯硅烷、金属氯化物及硼磷氯化物等杂质，需 进行精馏提纯得到高纯度的精制三氯氢硅。精制三氯氢硅在 还原炉内与氢气发生化学气相沉积反应生成多晶硅。可见， 在整个改良西门子法生产工艺流程中，精馏提纯工艺是实现 提高多晶硅产品质量的关键。如何连续稳定的生产合格的精 三氯氢硅产品，仍是国内大部分多晶硅企业的难点和目标。 由于三氯氢硅和四氯化硅沸点相差25°C,并且不形成共沸 物，比较容易去除，关键是氯硅烷混合液中含有微量的金属 杂质、硼磷化合物及含碳杂质等较难去除，如不去除将会影 响多晶硅的质量。 二、影响精制三氯氢硅质量的主要因素 A、 原材料因素 1、 硅粉 主含量99. 5%以上，40??_80目的硅粉应占80%以上。 杂质：Fe、Al、Ca、C、B、P的多价态，化合物的价态 不同沸点也不同，其含量的多少直接影响精三氯氢硅的产品 质量。 2、 氯化氢 氯化氢是通过氯气和氢气发生合成反应生成氯化氢，但 是氯气和氢气是通过NaCl电解生产，杂质来源于（原盐中 的微量硼磷碘等会带入产品）。因此氯化氢的纯度是影响三 氯氢硅产品质量的重要因素。 以上两种原料通过合成反应生成三氯氢硅及副产物等 氯硅垸混合液被送往精榴工序，其品质的高低直接影响精榴 工序精三氯氢硅产品质量。 B、 设备因素 1、换热器的设备质量 在多晶硅生产中，精馏工序使用循环水换热器，一旦发 生泄漏，循环水与氯硅烷物料接触后，循环水内的含磷等杂 质会带入系统。 2、动设备 在精馏生产过程中，使用大量的隔膜计量泵，由于油压 隔膜计量泵的传动是靠液压油完成，且隔膜计量泵属于正位 移式的容积式泵，在隔膜计量栗的安装、操作不当，或在运 行过程中的维护不及时，隔膜计量泵的膜片很容易破损，致 使液压油进入系统，液压油进入CVD炉或氢化炉，在高温下 分解，和氯硅烷反应生成含碳的氯化物和烷烃，而且产物多 样，结构复杂，在精馏工序很难去除，影响精制三氯氢硅的 质量。 3、设备维修 在生产过程中，设备避免不了会出现故障，维修过程中 需要拆开检查，如维修时防护不好及维修完未进行洁净处 理，那么设备表面被沾污，也会造成系统的污染，影响精制 三氯氢硅的质量。 C、操作因素 1、 精馏系统三大平衡。精馏过程中传质传热是同时进 行的、所以一个稳定生产的精馏塔是一个物料平衡、热量平 衡、汽液平衡的问题，若有一个平衡被破坏，就会影响精馏 塔的稳定生产。操作中通常是以控制物料平衡为主，相应调 节热量平衡，最终达到汽液相平衡的目的，气液平衡主要体 现了产品的质量情况。 2、 采出量。精馏的本质就是不同物料的分离，但是多 晶硅的精馏要求产品质量很高，要求达到PPB级，因此常规 精馏是无法实现的，这就要求在组分分离完成之后，杂质的 去除需要部分的甩料带出系统，即所讲的杂质排放，因此排 放量在实际生产中需要不断的摸索验证。 3、倒料操作。不同品质三氯氢硅的贮槽之间的倒料也 要注意，防止低品质的物料污染高品质的物料，总之要坚持 高品质的物料可以倒入低品质的物料贮槽，但绝不可以将低 品质的物料倒入高品质的物料贮槽槽。 三、控制和提高精制三氯氢硅产品质量主要途径 1、 自动控制技术在精馏生产中的有效应用和提高 自动控制技术的发展给化工生产带来了革命性的发展， 在大力解放劳动力的同时，也给生产的稳定性带来了保证。 在多晶硅生产中，实际上是用大宗化工的手段，生产精细化 工的提纯过程，在强化装置的自动化程度同时，保证了生产 安全及质量安全。 2、 技术改造、检修过程中的有效防护 多晶硅生产过程中，技术改造和检维修必不可少，但是 对系统污染的风险仍然很大，所以在上述作业中，应该采取 有效的措施，确保过程的洁净，从而避免精制三氯氢硅质量 波动。 3、 技术创新在精馏中的应用 技术的创新和进步是企业发展的源动力，如何改进工 艺，如何合理的引用新技术，这个是多晶硅生产不断进步， 技术革新带来的成果。 采用精馏的方法生产粗三氯氢硅很容易，但是生产电子 级的精三氯氢硅，要消耗大量的蒸汽目的只是去除微量的杂 质，成本会居高不下。采用一种吸附剂，使粗三氯氢硅通过 该种吸附剂，粗三氯氢硅中的硼磷关键杂质被有效去除，