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氧化锆陶瓷承烧板的特性及其在MnZn铁氧体烧结中的应用 氧化锆陶瓷承烧板的特性及其在 MnZn铁氧体烧结中的应用 朱新运一,姚礼华3,4 (1.上海交通大学材料科学与工程学院,上海200030; 2.上海天大生成电子科技公司,上海201600; 3.上海大学理学院物理系,上海200436; 4.上海埃格电子器材有限公司,上海200072) 摘要:对氧化锆陶瓷的特征以及用作MnZn铁氧体烧结承烧板(SetterPlate)的主要性能,如抗热震性, 化学稳定性作了阐述.不同用户的试验结果表明,使用本公司生产的承烧板烧结MnZn铁氧体,样品的磁导率(i) 降低不明显,基本保持不变,适合MnZn铁氧体的烧结. 关键词:氧化锆陶瓷:氧化锆承烧板;MnZn铁氧体:烧结 中图分类号:TF065.11文献标识码:B文章编号:1001?3830(2005)03?0036?03 CharacterizationsofZirconiaSetterPlateandItsApplication forSinteringofMnZnFerrites ZHUXin—yunl一. YAOLi—hua3? J.CollegeofMaterialsScienceandEngineering,ShanghaiJiaotongUniversity,Shanghai200030,China; 2.ShanghaiTD—SWElectronicSciamp;TechCo,Ltd.,Shanghai201600,China,” 3.DepartmentofPhysics,CollegeofScienceInstitute,ShanghaiUniversity,Shanghai200436,China; 4.ShanghaiEGElectronicComponentCo,Ltd.,Shanghai200072,China Abstract:Thecharacterizationsofthezirconiaceramicsandtheimportantpropertiessuchasthermalshock resistanceandchemicalstabilityofthesetterplateusedforsinteringofMnZnferriteshavebeendescribed.1e experimentalresultsfromvarioususersshowthatthedegradationofinitialpermeability(i)ofthesinteredMnZn ferdtesamplesusingthezirconiasetterplateproducedbyourcompanyisinsignificantlyanditisavailibletosinter MnZnferrites. Keywords:zirconiaceramics;zirconiasetterplate;MnZnferrite;sintering 1引言 高性能MnZn铁氧体,特别是高磁导率材料的 起始磁导率;对Zn含量极其敏感.在烧结过程中, 往往由于zIl的烧损导致;下降. zIl烧损的产生除了烧结温度与炉内氧气压的 影响外,主要缘于被烧结磁芯与耐火材料的接触. 当使用不合适的承烧板材料,往往使磁芯与其接触 的一面产生异相结晶,如znAL2o4相,从而影响 磁芯产品的外观与;,由此造成的不良品率往往 可达10-50%. 收稿日期:2004.10.25修回日期:2005-02-06 作者通信:Tel:021 为避gent成磁芯质量下降,近年来铁氧体工作 者在承烧板的选材上进行了大量研究,发现部分稳定 7_iO2板适合作高性能Mnzn铁氧体的烧结承烧板. 2氧化锆陶瓷的特性 氧化锆陶瓷材料具有良好的热学与化学稳定 性,近十多年来,得到市场的广泛开发与应用.作 为陶瓷结构材料,纯ZrO并不具有实用价值.原 因是在1000一l170”C温度范围,ZrO2会发生单斜相 (m—ZrO2)与四方相(t—ZrO2)的可逆转变,体积变化 3-7%.当由于热应变应力超过材料的弹性极限时, 就会引发材料的破坏.因此,不宜用纯ZrO2制作 整体构件. JMagnMaterDevicesVol36No3 研究表明,将一些离子半径与zr离子半径相 差不超过40%的金属氧化物,如CaO,MgO,Y203, Ce02等掺杂到ZrO2中,如掺人CaO,Ca2离子将 部分取代zr4+的位置,生成钙.锆氧化物固溶体 Ca2～Zrl4+(,,-~22一 .事实上,除了